冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
半导体工艺 CO₂冷水机换热效率衰减由哪些因素造成？
0CO₂冷水机在半导体工艺中承担介质控温功能，换热效率逐步衰减，会造成降温能力下降、能耗上升，影响工艺稳定性。
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CO₂冷水机以二氧化碳作为循环工质，若系统内部含水率超标或压力温度工况异常，二氧化碳会在低温节流段形成干冰，附着在节流部件、管路内壁，造成流道堵塞、换热异常。
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