左右多层试验箱

产品简介

左右多层试验箱提供温度范围-80℃~+150℃宽温度范围控温，空载温度均匀度±1℃，温度精度±0.1℃，满足多样化场景需求。

步入式试验箱

产品简介

本试验箱适用于整机或大型零部件的低温、高温、高低温变化、恒定湿热、高低温交变湿热等试验。可根据用户要求改变工作室尺寸与功能，采用拼块式箱体，造型美观大方，科学的风道设计，能满足不同客户的需求。

面板系列Panel Chiller

产品简介

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣的⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与精准控制。

帕尔贴Chiller

产品简介

ky平台-ky平台(中国) LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；

基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；

对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；

快速和准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

低能耗，空间占地小，同时还能够稳定的控制温度。

负压型控温机组

产品简介

负压型控温设备是通过制造循环管道内的负压环境，实现管道内的流体压力在低于外界大气压的条件下循环，并且同时实现精准控温功能。
原理：通过负压发生器驱动导热介质（水/油等）循环，避免泄露风险，适用于各种类型的板卡冷却。

FLTZH双通道高温Chiller

产品简介

ky平台-ky平台(中国) LNEYA双通道⾼温控温的Chiller，可以⽤来满⾜半导体⾼温测试需求，介质温度最⾼可达250℃，以特殊的⼯艺⽅式，保证系统⾼温⼯况下的控温精度。

ETCU无压缩机换热控温单元

产品简介

CHILLER 是通过换热器，将厂务水与载冷介质进行换热，循环泵驱动载冷介质循环，并且同时实现精准控温功能，适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却。

LTZ变频带加热系列

产品简介

LTZ变频带加热系列，产品支持加热功能，控温范围： -40℃～+90℃，控温精度：±0.3℃。变频机组采⽤先进的变频技术，精确控制压缩和⻛机运⾏转速，通过电⼦膨胀阀智能调节，快速制冷。

LT-800 桌面款制冷循环器

产品简介

ky平台-ky平台(中国) 循环冷水机LT-800是为规模0.5L~2L小型实验室旋转蒸发仪设计的。占地面积小且节省实验室空间。它可以放在长凳上或地板上。它在低温条件下广泛用于需要在低温下进行的化学,生物和物理实验。

VOCs冷凝捕集回收

产品简介

应⽤于⽓体冷凝液化回收。将VOCS⽓体或其他电⼦⽓体通过引⻛机接⼊到设备，通过降低温度液化捕集分离到收集罐中，其他⽓体排放，从⽽实现⽓体的冷凝捕集回收。