行业新闻

工业级变频冷水机组丨晶圆制造±0.1℃刻蚀/镀膜工艺用冷却方案

2025年3月25日 420

晶圆制造±0.1℃刻蚀/镀膜工艺用冷却

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热流仪（Thermal System）提升产品可靠性测试效率的四大技术路径

2025年3月19日 436

某3D封装芯片测试中，热流罩以±0.2℃精度完成循环，TSV结构零失效。

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高低温气流温度冲击系统技术发展趋势与半导体行业应用案例

2025年3月19日 514

热流仪 Thermal system

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半导体制造其他工艺用Chiller

2025年3月14日 481

在高温处理后，Chiller用于快速冷却硅片，以减少热应力并恢复至室温。

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半导体chiller在刻蚀工艺中应用的好处

2025年3月14日 513

无锡冠亚半导体Chiller能够适应不同的刻蚀工艺需求，无论是湿法刻蚀还是干法刻蚀，都能提供所需的温度控制。

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封装测试领域温控chiller在刻蚀工艺中的应用

2025年3月4日 357

封装测试领域温控chiller在刻蚀工艺中的应用对于维持生产过程的稳定性、提高产品质量、延长设备寿命以及保障操作安全都发挥着作用。

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等离子刻蚀冷却chiller厂家介绍常见刻蚀工艺类型有哪些？

2025年3月4日 360

等离子刻蚀冷却chiller（高精度冷热循环器），适用于集成电路、半导体显示等行业，温控设备可在工艺制程中控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，其工作原理是利用制冷循环和热交换原理，通过控制循环液的温度、流量和压力，带走...

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光刻工艺温度控制chiller应用案例

2025年2月27日 340

光刻工艺温度控制chiller通过提供准确和稳定的温度控制，Chiller有助于提高光刻过程的质量和效率，确保半导体制造过程中的高性能和可靠性。

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晶圆制造领域控温chiller应用案例

2025年2月27日 352

Chiller有助于提高晶圆制造过程的质量和效率，确保产品的高性能和可靠性。

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刻蚀工艺温控装置chiller应用案例

2025年2月26日 384

刻蚀工艺是半导体制造过程中的步骤之一，它涉及使用化学或物理方法去除硅片上的特定材料层。在这个过程中，准确的刻蚀工艺温控装置chiller对于确保刻蚀质量和生产效率比较重要。

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