该设备温度范围为 – 40℃至 + 90℃，出口控温精度 ±0.1℃，可定�?±0.01℃高精度配置，满足电子测试对温度稳定性的严格要求。制冷量 @-30℃为 0.6kW �?5.5kW，加热能�?1kW �?7.5kW，可适配不同功率的电子测试负载，保障温度控制的稳定性。制冷剂采用 R404A，适配中低温区间的制冷循环需求，兼顾制冷效率与运行稳定性�?/p>

设备采用单通道闭环循环设计，集成变频制冷系统与智能控制系统。循环介质可选氟化液或乙二醇水溶液，氟化液具备绝缘、低腐蚀特性，避免对电子测试样品造成影响。介质流量范�?15LPM �?30LPM，压�?0.3MPa �?0.5MPa，可匹配不同测试设备的管路接口与流量需求�?/p>

在电子测试场景中，该设备可用于半导体芯片低温功能测试、连接器温度循环测试、传感器低温灵敏度校准、电源模块高温老化测试等。支持多段程序控温，可预设升温、恒温、降温的多阶段温度曲线，设置循环次数与保温时长，适配批量自动化测试需求。动态控温算法可快速响应负载温度变化，减少温度过冲，确保测试过程中温度均匀性�?/p>

操作界面采用 7 寸彩色触摸屏，可实时显示温度、压力、流量等运行参数，支持测试数据记录与导出，便于测试结果追溯。安全防护包含电源欠�?/ 过流保护、压缩机热过载保护、低流量报jing、系统压力监控等，保障测试过程与设备安全。通讯接口支持 RS485 与以太网，可对接测试设备或工�?MES 系统，实现数据互通与远程控制。FLTZ -40~+90℃制冷循环器以jing准控温、多场景适配的特性，为电子中低温测试提供可靠解决方案�?/p>

FLS常温高精度系�?/a>

适用范围 应用：原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。核心技术与优势�?.高精度控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高精密制造场景�?.多场景适配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用�?…

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FLTZH高温系列

适用范围 应用：CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。核心技术与优势�?、高温范围宽：出口温度最高可�?00℃�?、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度�?.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性�?、节约能�?采用变频自适应调节、软启动…

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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>

适用范围 Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质高效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制�?产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 原理：制冷剂在系统中循环，通过压缩、冷凝、节流和蒸发四个过程实现制冷�?同时，载冷剂（介…

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FLTRZ二氧化碳系列

适用范围 FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与环保趋势的高效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案�?产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 行业应用 AP…

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氟化液回收装�?/a>

适用范围 氟化液回收系统采用一体式风冷设计。采用品牌的压缩机、冷凝器、蒸发器等部件，形成制冷系统提供冷源，蒸发器与客户端氟化液循环系统进行换热，对氟化液进行冷凝后回收�?产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 控制系统采用PLC加触摸屏方式，可以显示环境温度，具有电源欠压、缺…

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FLTZ变频多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性�?/p>详细信息

单通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度�?/p>详细信息

面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温�?/p>详细信息

帕尔贴Chiller

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围�?20�?0℃，专为半导体行业度身定制； 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制�?/p>详细信息

负压型控温机�?/a>

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（�?油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却�?/p>详细信息