产品中心 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 24 Mar 2026 07:57:58 +0000

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适用范围

应用�?br /> CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求�?br /> 核心技术与优势�?br /> 1、高温范围宽：出口温度最高可�?00℃�?br /> 2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度�?.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性�?br /> 3、节约能�?采用变频自适应调节、软启动等技术，实现系统的高效节能�?br /> 4、氟化液损耗小：特殊的密封和循环设计，降低高温下导致的氟化液挥发损耗�?br /> 5、洁净度高：内部管道酸洗钝化洁净度高，不含杂质离子，对工艺制程不会产生任何污染�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一高温范围�?/span>

特点�?/b>控温精准，洁净度高

特点�?/b>节约能�?/span>

特点�?/b>氟化液损耗小

产品参数

Product Parameter

CHILLER高温系列双通道

型号 FLTZH-2W-2T FLTZH-5W-2T FLTZH-10W-2T FLTZH-5W-2T-HV

介质温度范围 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td> 50℃～+300�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td>

CHUCK温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td>

加热功率 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

冷却能力 kW AT 220 �?/td> 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

150 �?/td> 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

100 �?/td> 1.5kW 1.5kW 3.5kW 3.5kW 6kW 6kW 3.5kW 3.5kW

50 �?/td> 0.5kW 0.5kW 1.1kW 1.1kW 2kW 2kW 1.1kW 1.1kW

流量/压力 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 15LPM 4bar 15LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar

操作面板 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1/2

冷却水流�?/td> 20LPM max at 25�?/td> 40LPM max at 25�?/td> 70LPM max at 25�?/td> 40LPM max at 25�?/td>

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

导热介质氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*130 45*85*145 55*105*160 45*110*145

电源 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A

CHILLER高温系列单通道

型号 FLTZH-5W FLTZH-10W

介质温度范围 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td>

CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td> CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td> ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td> ±0.5�?/td>

加热功率 5.5kW 10kW

冷却能力 kW AT 220 �?/td> 5.5kW 10kW

150 �?/td> 5.5kW 10kW

100 �?/td> 3.5kW 6kW

50 �?/td> 1.1kW 2kW

流量/压力 8LPM 4bar 8LPM 4bar

操作面板 7寸触摸屏 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td> 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc3/4

冷却水流�?/td> 20LPM max at 25�?/td> 35LPM max at 25�?/td>

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

导热介质氟化�?/td> 氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*90 55*105*120

电源 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

产品推荐

Recommendation

FLS常温高精度系�?/a>
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FLTZH高温系列
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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>
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FLTRZ二氧化碳系列
详细信息

产品中心 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 24 Mar 2026 07:32:21 +0000

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适用范围

FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与环保趋势的高效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心

产品特点

Product Features

特点一高稳定性、高精度 ±0.005�?/span>
特点�?/b>高密闭性，环境适应性高

特点�?/b>控温无迟滞，升降温速率�?/span>

特点�?/b>主要用于半导体FAB工艺

产品参数

Product Parameter

产品型号 FLTRZ-001W FLTRZ-003W FLTRZ-006W FLTRZ-011W

FLTRZ-001 FLTRZ-003 FLTRZ-006 FLTRZ-011

介质温度范围 +10℃�?25�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

制冷量AT 10�?/td> 3kW 7kW 13kW 25kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃；
3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-001WS FLTRZ-003WS FLTRZ-006WS FLTRZ-011WS

FLTRZ-001S FLTRZ-003S FLTRZ-006S FLTRZ-011S

介质温度范围 +10℃�?25�?/td>

导热介质温控精度 ±0.005℃（出口温度稳态）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

制冷量AT 10�?/td> 3kW 7kW 13kW 25kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃；
3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-201W FLTRZ-203W FLTRZ-206W FLTRZ-211W

介质温度范围 -25℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

50�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

0�?/td> 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW

-10�?/td> 2.1kW 5.2kW 9.5kW 19kW

-20�?/td> 1.3kW 3.4kW 6.2kW 12.4kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-401W FLTRZ-403W FLTRZ-406W FLTRZ-411W

介质温度范围 -40℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW

50�?/td> 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW

0�?/td> 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW

-15�?/td> 1.5kW 3.7kW 6.8kW 13kW

-25�?/td> 1kW 2.6kW 5kW 9.6kW

-35�?/td> 0.2kW 0.7kW 1.5kW 3kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.提供冷却水温度不能高�?5℃，冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-801W FLTRZ-803W FLTRZ-806W FLTRZ-811W

介质温度范围 -70℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

20�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

-55�?/td> 0.6kW 1.8kW 3.5kW 7kW

-65�?/td> 0.3kW 0.9kW 1.81kW 4kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> R744(二氧化碳)/R508B

载冷�?/td> 硅油、氟化液�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 900L/H 2250L/H 4400L/H 8000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号 FLTRZ-D-D3D3W

管道通道1 通道2

温度范围 -25℃�?90�?/td> -25℃�?90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃） ±0.1℃（可定制�?.01℃）

制冷量AT -10�?/td> 5.2kW 5.2kW

制冷量AT -20�?/td> 3.4kW 3.4kW

导热介质接口 M30*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 3300L/H

接管尺寸 M38*1.5

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz
三相220V 50&60Hz
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号 FLTRZ-D-E6E6W

管道通道1 通道2

温度范围 -40℃�?90�?/td> -40℃�?90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃） ±0.1℃（可定制�?.01℃）

制冷量AT -15�?/td> 6.8kW 6.8kW

制冷量AT -35�?/td> 2.2kW 2.2kW

导热介质接口 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 6000L/H

接管尺寸 M45*1.5

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>
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产品中心 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 22 Jul 2025 03:02:53 +0000

产品中心

适用范围

冠亚恒温LNEYA精密恒温恒湿机组是⼀种能精准控制环境温、湿度的空⽓调节设备，提供两款设备型号，常规水冷款和迷你型风冷款�?/p>
半导体、液晶和太阳能电池板等设备的⽣产设施中使⽤的设备、⽣产流程、检验流程及空间，需要⾼度精确和稳定的空⽓处理。为了满⾜这些需求，全区域空⽓处理将需要极⾼的相关费⽤和维护成本�?/p>
机组采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染；可适配部分新⻛功能，更加⽅便满⾜特殊使⽤环境的暖通要求，⼜能满⾜⼯艺要求；常年⼯作，可靠性更⾼�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

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产品特点

Product Features

特点一适用于⾼洁净度要求且⾼精度温、湿度要求的场所

特点�?/b>保持温、湿度恒定在⼀个设定的范围内，波动范围很⼩

特点�?/b>可适配部分新⻛功能，更加⽅便满⾜特殊使⽤环境的暖通要�?/span>

特点�?/b>采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染

产品参数

Product Parameter

精密恒温恒湿机组（水冷）

1、温度和湿度控制可适用于不同的设定温度下，亦可以在一个固定的使用温、湿度下恒定工作�?/h6>
2、机组可以根据实际情况，配比一定的新风量以满足暖通新风要求，加湿量匹配最大新风量�?/h6>
3、精密型恒温恒湿机组使用新、回风温湿度范围�?/h6>
4、在最大额定工艺风量下运行时，送风机出口侧空气出口处的恒定静压；也可以根据末端是否配置有FFU调整

5�?0°f相当于的400ppm 的CaCO3 �?/h6>
6、冷却水水质要求：不低于《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050-95

7、送风管道必须保温处理，现场安装尽可能的缩短管路长度，有关可能的详细信息，请参阅操作手�?/h6>

型号 LWX-0010-BW LWX-0030-BW LWX-0050-BW LWX-0070-BW LWX-0090-BW LWX-0100-BW

额定处理风量 m³/h 1000 3000 5000 7000 9000 10000

适用设备舱体最大体�?/td> m³ 5�?0 20�?0 40�?0 60�?0 80�?0 90�?00

可设定温、湿度范�?/td> �?%RH 22�?4   /   45%RH�?0%RH

温度控制精度 �?/td> ±0.1(可定制�?.01℃控温精度设备）

湿度控制精度 %RH ±1 %RH

最大制冷量 kW 3kW /@25�?/td> 7kW /@25�?/td> 12kW /@25�?/td> 16kW /@25�?/td> 21kW /@25�?/td> 23kW /@25�?/td>

最大加湿量 Kg/h 2 5 6 8 10 10

最大机组外送风静压 Pa 0�?00 0�?50 0�?00

使用环境温、湿度范�?/td> �?%RH 23±2 �?/   40%RH�?0%RH

送风口接管直�?/td> mm φ200 φ300 φ400 φ450 φ500

加湿补水管接�?/td> / Rc3/4

机组排污管接�?/td> / Rc1/2

加湿供水温度范围 �?/td> 10�?0

加湿补水压力�?/td> bar 1�?

加湿补水水质要求 / *导电�?5�?250μs/cm      *水硬度不高于40°f          *无有机化合物

冷却水温�?/td> �?/td> 18�?2

冷却水接�?/td> / Rc1/2 Rc3/4 Rc1

电源供应 V/Hz 3�?80v±10%; 50Hz±5Hz  三相五线�?/td>

机组额定输入功率 kW 1 2.5 3 3.5 4.5 4.5

机组噪音�?/td> dB(A) �?5 �?0

机组最大输入功�?/td> kWA 2.5 6 8 10 12 12

冷媒/充注�?/td> Kg R410A/1.5 R410A/2 R410A/2.5 R410A/3 R410A/4 R410A/4

安全保护功能电源过、欠�?�?逆、缺相保护；电机过热、过载保护；压缩机排气温度过高保护；                   系统高压保护�?系统低压保护、温度模块故障保护、可调式超温保护，风机电机过热保护等

型号 LW-0010-BW LW-0030-BW LW-0050-BW LW-0070-BW LW-0090-BW LW-0100-BW

额定处理风量 m³/h 1000 3000 5000 7000 9000 10000

适用设备舱体最大体�?/td> m³ 5�?0 20�?0 40�?0 60�?0 80�?0 90�?00

可设定温度范�?/td> �?/td> 21�?4 �?/td>

温度控制精度 �?/td> ±0.1(可定制�?.01℃控温精度设备）

最大制冷量 kW 2kW /@25�?/td> 5kW /@25�?/td> 9kW /@25�?/td> 12kW /@25�?/td> 15kW /@25�?/td> 17kW /@25�?/td>

最大机组外送风静压 Pa 0�?00 0�?50 0�?00

使用环境温、湿度范�?/td> �?%RH 23±2 �?/   40%RH�?0%RH

送风口接管直�?/td> mm φ200 φ300 φ400 φ450 φ500

机组排污管接�?/td> / Rc1/2

冷却水温度⑥ �?/td> 18�?2

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc3/4 Rc1

电源供应 V/Hz 3�?80v±10%; 50Hz±5Hz  三相五线�?/td>

机组额定输入功率 kW 1 2 2.5 3 4 4

机组噪音�?/td> dB(A) �?5 �?0

机组最大输入功�?/td> kWA 2 4 6 8 10 10

冷媒/充注�?/td> Kg R410A/1.5 R410A/2 R410A/2.5 R410A/3 R410A/4 R410A/4

安全保护功能电源过、欠�?�?逆、缺相保护；电机过热、过载保护；压缩机排气温度过高保护；系统高压保护；系统低压保护、温度模块故障保护、可调式超温保护，风机电机过热保护等

迷你型精密恒温恒湿机组（风冷�?/h3>

产品型号 LMW-01BS LMWX-01BS LMW-03BT LMWX-03BT

额定处理风量 m3/min 0.7�?.0 2.0�?.0

可设定温湿度范围 �? %RH 21�?5 21�?5;45%RH�?0%RH 21�?5 21�?5�?5%RH�?0%RH

温度控制精度 �? %RH ±0.1（可定制±0.01℃控温精度设备）

湿度控制精度 %RH / ±1%RH / ±1%RH

最大制冷量(50/60Hz�?/td> kW 0.2/0.25 0.37/0.45 1.3 1.3

再热�?50/60Hz�?/td> kW 0.1/0.13 0.4 0.5 0.7

最大加湿能�?/td> Kg/h / 0.8 / 2.3

加湿供水温度范围 �?/td> / 10�?0 / 10�?0

加湿补水管接�?/td> / / Rc1/2 / Rc1/2

加湿补水压力�?/td> bar / 0.3�? / 0.3�?

水质要求 / / *导电�?25�?250μs/cm

*水硬度不高于40°f

*无有机化合物
/ *导电�?25�?250μs/cm

*水硬度不高于40°f

*无有机化合物

最大机外送风静压 Pa 120/130 120/160 110/150 110/150

送风口接管直�?/td> mm φ75 φ100 φ100 φ100

设备使用环境温度 �? %RH 20�?5�?5%RH�?0%RH

使用环境温度精度范围 �? %RH ±1；�?%RH

电源供应 V/Hz 1�?20v±10%; 50/60Hz±5Hz 3�?80v±15%; 50Hz±5Hz

机组额定输入功率 kW 0.32/0.34 1.2/1.2 0.75 2.7

机组运行最大电流�?/td> A 1.7/1.82 6.4/6.4 1.35 4.8

机组噪音�?50/60Hz�?/td> dB(A) 54/56 58/60 65 66

机组最大输入功�?/td> kWA 0.34/0.38 1.5/1.5 1.4 4

冷媒/充注�?/td> Kg R134A/0.13 R410A/0.3 R410A/0.4 R410A/0.48

机组外形尺寸(L*B*H) mm 500*412*346 630*390*765 590*480*1070 680*520*1350

1、温度和湿度控制范围并不一定代表实际可控制的范围。实际可控制的温度和湿度范围取决于进气温度和湿度以及工艺风量。根据操作环境设置工艺风量�?/h6>
2、对于M01/02系列，当进气温度和湿度稳定时。控制器上显示的精度值仅适用于出口端的一点；同时是在最大额定风量下运行时�?对于M03系列，在以额定工艺风量（3 m³/min）运行时，开始运行后大约2分钟内，由于压缩�?油回流，温度会暂时波动。此外，如果目标湿度较高，并且根据加湿水供应的时间不同，可能无法维持之前提到的精度。在这种情况下，通过调整与供水相关的参数，可以减少波动量�?/h6>
3、在最大额定工艺风量下运行时，送风机出口侧空气出口处的恒定静压�?/h6>
4、将产品插入专用插座以防止电压下降，三相电源电压相位不平衡应小于±3 %�?/h6>
5、在指定范围内最大工作电流下运行时�?/h6>
6、冷却水水质要求：不低于《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050-95；备�?40°f相当于的400ppm 的CaCO3 �?7、高度包括出口端。所示数值是在指定最大加湿水平运行时的。有关可能的详细信息，请参阅操作手册备注：送风管道必须保温处理，现场安装尽可能的缩短管路长度（最大长度不超过3m)

行业应用

APPLICATION

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

航空航天材料|试验装置控温解决方案

在航空航天领域，材料的性能直接关系到飞行器的安全、可靠性和效率。随着科技的进步，对航空航天材料的要求也越来越高，特别是在高温、高压、高速以及微重力等特殊环境下的表现�?/p>

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产品中心 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 27 Apr 2025 03:52:30 +0000

产品中心

适用范围

多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?45℃~+90℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）
特点�?/b>采用先进的变频技术，节省能耗，稳定控温

特点�?/b>先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥�?/span>

特点�?/b>符合SEMI标准，可根据客户需求定制产�?/span>

产品参数

Product Parameter

双通道系列所有型号均支持定制双通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型号 FLTZ-D-202W FLTZ-D-203W FLTZ-D-B003B203W

通道系数 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2

介质温度范围 -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

控制模式本体出液口温控控制模�?/td>

负载温度控制模式（通信�?/td>

出口温度控制精度 ±0.1�?/td>

冷却能力 1kW@-20�?/td> 1kW@-20�?/td> 2.5kW@-15�?/td> 2.5kW@-15�?/td> 4kW@-15�?/td> 20kW@冷却水温�?10�?/td>

4kW@10�?/td> 4kW@10�?/td> 6kW@10�?/td> 6kW@10�?/td> 10kW@10�?/td>

加热能力 1.6kW 1.6kW 5.5kW 5.5kW 2kW 5.5kW

介质类型、电阻率 DI WATER@10~18MΩ·cm 氟化�?/td> 氟化�?/td>

介质流量压力 20LPM@5bar 20LPM@5bar 20LPM@3bar 20LPM@3bar 20LPM@5bar 20LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控�?/td>

每组流量控制 15~20LPM变频调节功能

流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM

水箱容积 15L 15L 15L 15L 15L 15L

操作面板 7寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 220 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�? 220 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?/td> 11kW(49A) 18kW�?8A) 14.5kW�?5A)

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

外形尺寸cm 60*85*140 75*110*170 46*90*187

非标定制配离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制双通道液位平衡带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡

三通道系列所有型号均支持定制双通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型号 FLTZ-T-B203B205A1W FLTZ-T-B440A2A2W FLTZ-T-B210A1C1W

通道系数 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3

介质温度范围 -10~�?0�?/td> 30~�?0�?/td> -10~�?0�?/td> -40℃~+50�?/td> 30℃~+120�?/td> 30℃~+50�?/td> -25℃~+90�?/td> 30℃~+90�?/td> 25℃~+160�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

控制模式本体出液口温控控制模�?/td>

负载温度控制模式（通信�?/td>

出口温度控制精度 ±0.1�?/td>

冷却能力 4kW@-10�?/td> 6kW@冷却水温�?10�?/td> 3kW@-10�?/td> 20kW@-30�?/td> 20kW@50�?/td> 25kW@35�?/td> 10kW@-10�?/td> 10kW@30�?/td> 4kW@100�?/td>

16kW@20�?/td> 10kW@20�?/td>

加热能力 5.5kW 5.5kW 4kW 5.5kW 15kW 5.5kW 2kW 7.5kW 7.5kW

介质类型、电阻率氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td>

介质流量压力 17LPM@7bar 17LPM@7bar 17LPM@7bar 30LPM@11.5bar 30LPM@11.5bar 23LPM@10bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar

介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@1.6m³/h@2~4bar 20℃@20m³/h@2~4bar 20℃@7m³/h@2~4bar 20℃@5m³/h@2~4bar

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 Rc1 Rc1

通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控�?/td>

每组流量控制 15~20LPM变频调节功能

流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM

水箱容积 40L 40L 40L 25L 25L 25L 25L 25L 25L

操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 220 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?/td> 31kW�?13A) 65kW�?36A) 34kW�?35A)

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

外形尺寸cm 70*100*185 115*150*210 105*135*195

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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CHILLER高温系列双通道
型号		FLTZH-2W-2T		FLTZH-5W-2T		FLTZH-10W-2T		FLTZH-5W-2T-HV
介质温度范围		50℃～+220�?/td>		50℃～+220�?/td>		50℃～+220�?/td>		50℃～+300�?/td>
控制系统		PLC控制�?/td>
温控点控制模�?/td>		本体出液口温控控制模�?/td>
		CHUCK温度控制模式（通信�?/td>
温差控制		可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差
通信协议		MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口
外接入温度反�?/td>		通过通信
介质出口温控精度		±0.1�?/td>
CHUCK温控精度		±0.5�?/td>
加热功率		2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
冷却能力 kW AT	220 �?/td>	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	150 �?/td>	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	100 �?/td>	1.5kW	1.5kW	3.5kW	3.5kW	6kW	6kW	3.5kW	3.5kW
	50 �?/td>	0.5kW	0.5kW	1.1kW	1.1kW	2kW	2kW	1.1kW	1.1kW
流量/压力		8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	15LPM 4bar	15LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸触摸屏
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
密闭循环系统		整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>
接口尺寸		Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1/2	Rc1/2
冷却水接�?/td>		Rc1/2		Rc1/2		Rc3/4		Rc1/2
冷却水流�?/td>		20LPM max at 25�?/td>		40LPM max at 25�?/td>		70LPM max at 25�?/td>		40LPM max at 25�?/td>
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
导热介质		氟化�?/td>		氟化�?/td>		氟化�?/td>		氟化�?/td>
外形尺寸 cm		4585130		4585145		55105160		45110145
电源		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A

CHILLER高温系列单通道
型号		FLTZH-5W	FLTZH-10W
介质温度范围		50℃～+220�?/td>	50℃～+220�?/td>
控制系统		PLC控制�?/td>	PLC控制�?/td>
温控点控制模�?/td>		本体出液口温控控制模�?/td>	本体出液口温控控制模�?/td>
温控点控制模�?/td>		CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>	CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>
温差控制		可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差	可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差
通信协议		MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口	MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口
外接入温度反�?/td>		通过通信	通过通信
介质出口温控精度		±0.1�?/td>	±0.1�?/td>
CHUCK温控精度		±0.5�?/td>	±0.5�?/td>
加热功率		5.5kW	10kW
冷却能力 kW AT	220 �?/td>	5.5kW	10kW
	150 �?/td>	5.5kW	10kW
	100 �?/td>	3.5kW	6kW
	50 �?/td>	1.1kW	2kW
流量/压力		8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸触摸屏	7寸触摸屏
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
密闭循环系统		整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>	整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>
接口尺寸		Rc1/2	Rc3/4
冷却水接�?/td>		Rc1/2	Rc3/4
冷却水流�?/td>		20LPM max at 25�?/td>	35LPM max at 25�?/td>
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035	冷轧板喷塑RAL7035
导热介质		氟化�?/td>	氟化�?/td>
外形尺寸 cm		458590	55105120
电源		220V 三相四线�?32A	220V 三相四线�?32A

产品型号		FLTRZ-001W	FLTRZ-003W	FLTRZ-006W	FLTRZ-011W
		FLTRZ-001	FLTRZ-003	FLTRZ-006	FLTRZ-011
介质温度范围		+10℃�?25�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10�?/td>		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-001WS	FLTRZ-003WS	FLTRZ-006WS	FLTRZ-011WS
		FLTRZ-001S	FLTRZ-003S	FLTRZ-006S	FLTRZ-011S
介质温度范围		+10℃�?25�?/td>
导热介质温控精度		±0.005℃（出口温度稳态）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10�?/td>		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-201W	FLTRZ-203W	FLTRZ-206W	FLTRZ-211W
介质温度范围		-25℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	50�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	0�?/td>	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-10�?/td>	2.1kW	5.2kW	9.5kW	19kW
	-20�?/td>	1.3kW	3.4kW	6.2kW	12.4kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-401W	FLTRZ-403W	FLTRZ-406W	FLTRZ-411W
介质温度范围		-40℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	50�?/td>	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	0�?/td>	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-15�?/td>	1.5kW	3.7kW	6.8kW	13kW
	-25�?/td>	1kW	2.6kW	5kW	9.6kW
	-35�?/td>	0.2kW	0.7kW	1.5kW	3kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.提供冷却水温度不能高�?5℃，冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-801W	FLTRZ-803W	FLTRZ-806W	FLTRZ-811W
介质温度范围		-70℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	20�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	-55�?/td>	0.6kW	1.8kW	3.5kW	7kW
	-65�?/td>	0.3kW	0.9kW	1.81kW	4kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		R744(二氧化碳)/R508B
载冷�?/td>		硅油、氟化液�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	900L/H	2250L/H	4400L/H	8000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号		FLTRZ-D-D3D3W
管道		通道1	通道2
温度范围		-25℃�?90�?/td>	-25℃�?90�?/td>
控温精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）	±0.1℃（可定制�?.01℃）
制冷量AT -10�?/td>		5.2kW	5.2kW
制冷量AT -20�?/td>		3.4kW	3.4kW
导热介质接口		M30*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	3300L/H
	接管尺寸	M38*1.5
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz 三相220V 50&60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号		FLTRZ-D-E6E6W
管道		通道1	通道2
温度范围		-40℃�?90�?/td>	-40℃�?90�?/td>
控温精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）	±0.1℃（可定制�?.01℃）
制冷量AT -15�?/td>		6.8kW	6.8kW
制冷量AT -35�?/td>		2.2kW	2.2kW
导热介质接口		M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	6000L/H
	接管尺寸	M45*1.5
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号		LWX-0010-BW	LWX-0030-BW	LWX-0050-BW	LWX-0070-BW	LWX-0090-BW	LWX-0100-BW
额定处理风量	m³/h	1000	3000	5000	7000	9000	10000
适用设备舱体最大体�?/td>	m³	5�?0	20�?0	40�?0	60�?0	80�?0	90�?00
可设定温、湿度范�?/td>	�?%RH	22�?4 / 45%RH�?0%RH
温度控制精度	�?/td>	±0.1(可定制�?.01℃控温精度设备）
湿度控制精度	%RH	±1 %RH
最大制冷量	kW	3kW /@25�?/td>	7kW /@25�?/td>	12kW /@25�?/td>	16kW /@25�?/td>	21kW /@25�?/td>	23kW /@25�?/td>
最大加湿量	Kg/h	2	5	6	8	10	10
最大机组外送风静压	Pa	0�?00		0�?50		0�?00
使用环境温、湿度范�?/td>	�?%RH	23±2 �?/ 40%RH�?0%RH
送风口接管直�?/td>	mm	φ200	φ300	φ400	φ450	φ500
加湿补水管接�?/td>	/	Rc3/4
机组排污管接�?/td>	/	Rc1/2
加湿供水温度范围	�?/td>	10�?0
加湿补水压力�?/td>	bar	1�?
加湿补水水质要求	/	导电�?5�?250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物
冷却水温�?/td>	�?/td>	18�?2
冷却水接�?/td>	/	Rc1/2		Rc3/4		Rc1
电源供应	V/Hz	3�?80v±10%; 50Hz±5Hz 三相五线�?/td>
机组额定输入功率	kW	1	2.5	3	3.5	4.5	4.5
机组噪音�?/td>	dB(A)	�?5				�?0
机组最大输入功�?/td>	kWA	2.5	6	8	10	12	12
冷媒/充注�?/td>	Kg	R410A/1.5	R410A/2	R410A/2.5	R410A/3	R410A/4	R410A/4
安全保护功能		电源过、欠�?�?逆、缺相保护；电机过热、过载保护；压缩机排气温度过高保护；系统高压保护�?系统低压保护、温度模块故障保护、可调式超温保护，风机电机过热保护等

型号		LW-0010-BW	LW-0030-BW	LW-0050-BW	LW-0070-BW	LW-0090-BW	LW-0100-BW
额定处理风量	m³/h	1000	3000	5000	7000	9000	10000
适用设备舱体最大体�?/td>	m³	5�?0	20�?0	40�?0	60�?0	80�?0	90�?00
可设定温度范�?/td>	�?/td>	21�?4 �?/td>
温度控制精度	�?/td>	±0.1(可定制�?.01℃控温精度设备）
最大制冷量	kW	2kW /@25�?/td>	5kW /@25�?/td>	9kW /@25�?/td>	12kW /@25�?/td>	15kW /@25�?/td>	17kW /@25�?/td>
最大机组外送风静压	Pa	0�?00		0�?50		0�?00
使用环境温、湿度范�?/td>	�?%RH	23±2 �?/ 40%RH�?0%RH
送风口接管直�?/td>	mm	φ200	φ300	φ400	φ450	φ500
机组排污管接�?/td>	/	Rc1/2
冷却水温度⑥	�?/td>	18�?2
冷却水接�?/td>		Rc1/2		Rc3/4		Rc1
电源供应	V/Hz	3�?80v±10%; 50Hz±5Hz 三相五线�?/td>
机组额定输入功率	kW	1	2	2.5	3	4	4
机组噪音�?/td>	dB(A)	�?5				�?0
机组最大输入功�?/td>	kWA	2	4	6	8	10	10
冷媒/充注�?/td>	Kg	R410A/1.5	R410A/2	R410A/2.5	R410A/3	R410A/4	R410A/4
安全保护功能		电源过、欠�?�?逆、缺相保护；电机过热、过载保护；压缩机排气温度过高保护；系统高压保护；系统低压保护、温度模块故障保护、可调式超温保护，风机电机过热保护等

产品型号		LMW-01BS	LMWX-01BS	LMW-03BT	LMWX-03BT
额定处理风量	m3/min	0.7�?.0		2.0�?.0
可设定温湿度范围	�? %RH	21�?5	21�?5;45%RH�?0%RH	21�?5	21�?5�?5%RH�?0%RH
温度控制精度	�? %RH	±0.1（可定制±0.01℃控温精度设备）
湿度控制精度	%RH	/	±1%RH	/	±1%RH
最大制冷量(50/60Hz�?/td>	kW	0.2/0.25	0.37/0.45	1.3	1.3
再热�?50/60Hz�?/td>	kW	0.1/0.13	0.4	0.5	0.7
最大加湿能�?/td>	Kg/h	/	0.8	/	2.3
加湿供水温度范围	�?/td>	/	10�?0	/	10�?0
加湿补水管接�?/td>	/	/	Rc1/2	/	Rc1/2
加湿补水压力�?/td>	bar	/	0.3�?	/	0.3�?
水质要求	/	/	导电�?25�?250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物	/	导电�?25�?250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物
最大机外送风静压	Pa	120/130	120/160	110/150	110/150
送风口接管直�?/td>	mm	φ75	φ100	φ100	φ100
设备使用环境温度	�? %RH	20�?5�?5%RH�?0%RH
使用环境温度精度范围	�? %RH	±1；�?%RH
电源供应	V/Hz	1�?20v±10%; 50/60Hz±5Hz		3�?80v±15%; 50Hz±5Hz
机组额定输入功率	kW	0.32/0.34	1.2/1.2	0.75	2.7
机组运行最大电流�?/td>	A	1.7/1.82	6.4/6.4	1.35	4.8
机组噪音�?50/60Hz�?/td>	dB(A)	54/56	58/60	65	66
机组最大输入功�?/td>	kWA	0.34/0.38	1.5/1.5	1.4	4
冷媒/充注�?/td>	Kg	R134A/0.13	R410A/0.3	R410A/0.4	R410A/0.48
机组外形尺寸(LBH)	mm	500412346	630390765	5904801070	6805201350

型号	FLTZ-D-202W		FLTZ-D-203W		FLTZ-D-B003B203W
通道系数	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
介质温度范围	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>
控制系统	PLC控制�?/td>		PLC控制�?/td>		PLC控制�?/td>
控制模式	本体出液口温控控制模�?/td>
	负载温度控制模式（通信�?/td>
出口温度控制精度	±0.1�?/td>
冷却能力	1kW@-20�?/td>	1kW@-20�?/td>	2.5kW@-15�?/td>	2.5kW@-15�?/td>	4kW@-15�?/td>	20kW@冷却水温�?10�?/td>
	4kW@10�?/td>	4kW@10�?/td>	6kW@10�?/td>	6kW@10�?/td>	10kW@10�?/td>
加热能力	1.6kW	1.6kW	5.5kW	5.5kW	2kW	5.5kW
介质类型、电阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm		氟化�?/td>		氟化�?/td>
介质流量压力	20LPM@5bar	20LPM@5bar	20LPM@3bar	20LPM@3bar	20LPM@5bar	20LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	20℃@2.5m³/h@2~4bar		20℃@3.5m³/h@2~4bar		20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接�?/td>	Rc3/4		Rc3/4		Rc3/4	Rc3/4
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控�?/td>
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	15L	15L	15L	15L	15L	15L
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三�?可定�?		380 VAC ± 10%，三�?可定�?		220 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?/td>	11kW(49A)		18kW�?8A)		14.5kW�?5A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	6085140		75110170		4690187
非标定制	配离子交换树脂过滤器带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡

型号	FLTZ-T-B203B205A1W			FLTZ-T-B440A2A2W			FLTZ-T-B210A1C1W
通道系数	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3
介质温度范围	-10~�?0�?/td>	30~�?0�?/td>	-10~�?0�?/td>	-40℃~+50�?/td>	30℃~+120�?/td>	30℃~+50�?/td>	-25℃~+90�?/td>	30℃~+90�?/td>	25℃~+160�?/td>
控制系统	PLC控制�?/td>			PLC控制�?/td>			PLC控制�?/td>
控制模式	本体出液口温控控制模�?/td>
	负载温度控制模式（通信�?/td>
出口温度控制精度	±0.1�?/td>
冷却能力	4kW@-10�?/td>	6kW@冷却水温�?10�?/td>	3kW@-10�?/td>	20kW@-30�?/td>	20kW@50�?/td>	25kW@35�?/td>	10kW@-10�?/td>	10kW@30�?/td>	4kW@100�?/td>
	16kW@20�?/td>		10kW@20�?/td>
加热能力	5.5kW	5.5kW	4kW	5.5kW	15kW	5.5kW	2kW	7.5kW	7.5kW
介质类型、电阻率	氟化�?/td>			氟化�?/td>			氟化�?/td>
介质流量压力	17LPM@7bar	17LPM@7bar	17LPM@7bar	30LPM@11.5bar	30LPM@11.5bar	23LPM@10bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@2.5m³/h@2~4bar	20℃@1.6m³/h@2~4bar	20℃@20m³/h@2~4bar	20℃@7m³/h@2~4bar		20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接�?/td>	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1	Rc1	Rc1
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控�?/td>
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	40L	40L	40L	25L	25L	25L	25L	25L	25L
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三�?可定�?			380 VAC ± 10%，三�?可定�?			380 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?/td>	31kW�?13A)			65kW�?36A)			34kW�?35A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	70100185			115150210			105135195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证