Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 24 Mar 2026 07:57:58 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

应用�?br /> CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求�?br /> 核心技术与优势�?br /> 1、高温范围宽：出口温度最高可�?00℃�?br /> 2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度�?.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性�?br /> 3、节约能�?采用变频自适应调节、软启动等技术，实现系统的高效节能�?br /> 4、氟化液损耗小：特殊的密封和循环设计，降低高温下导致的氟化液挥发损耗�?br /> 5、洁净度高：内部管道酸洗钝化洁净度高，不含杂质离子，对工艺制程不会产生任何污染�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一高温范围�?/span>

特点�?/b>控温精准，洁净度高

特点�?/b>节约能�?/span>

特点�?/b>氟化液损耗小

产品参数

Product Parameter

CHILLER高温系列双通道

型号 FLTZH-2W-2T FLTZH-5W-2T FLTZH-10W-2T FLTZH-5W-2T-HV

介质温度范围 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td> 50℃～+300�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td>

CHUCK温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td>

加热功率 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

冷却能力 kW AT 220 �?/td> 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

150 �?/td> 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW

100 �?/td> 1.5kW 1.5kW 3.5kW 3.5kW 6kW 6kW 3.5kW 3.5kW

50 �?/td> 0.5kW 0.5kW 1.1kW 1.1kW 2kW 2kW 1.1kW 1.1kW

流量/压力 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 15LPM 4bar 15LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar

操作面板 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1/2

冷却水流�?/td> 20LPM max at 25�?/td> 40LPM max at 25�?/td> 70LPM max at 25�?/td> 40LPM max at 25�?/td>

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

导热介质氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*130 45*85*145 55*105*160 45*110*145

电源 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A

CHILLER高温系列单通道

型号 FLTZH-5W FLTZH-10W

介质温度范围 50℃～+220�?/td> 50℃～+220�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?/td>

CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td> CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口 MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td> ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td> ±0.5�?/td>

加热功率 5.5kW 10kW

冷却能力 kW AT 220 �?/td> 5.5kW 10kW

150 �?/td> 5.5kW 10kW

100 �?/td> 3.5kW 6kW

50 �?/td> 1.1kW 2kW

流量/压力 8LPM 4bar 8LPM 4bar

操作面板 7寸触摸屏 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td> 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc3/4

冷却水流�?/td> 20LPM max at 25�?/td> 35LPM max at 25�?/td>

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

导热介质氟化�?/td> 氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*90 55*105*120

电源 220V 三相四线�?32A 220V 三相四线�?32A

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

产品推荐

Recommendation

FLS常温高精度系�?/a>
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FLTZH高温系列
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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>
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FLTRZ二氧化碳系列
详细信息

Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 24 Mar 2026 07:32:21 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与环保趋势的高效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一高稳定性、高精度 ±0.005�?/span>
特点�?/b>高密闭性，环境适应性高

特点�?/b>控温无迟滞，升降温速率�?/span>

特点�?/b>主要用于半导体FAB工艺

产品参数

Product Parameter

产品型号 FLTRZ-001W FLTRZ-003W FLTRZ-006W FLTRZ-011W

FLTRZ-001 FLTRZ-003 FLTRZ-006 FLTRZ-011

介质温度范围 +10℃�?25�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

制冷量AT 10�?/td> 3kW 7kW 13kW 25kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃；
3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-001WS FLTRZ-003WS FLTRZ-006WS FLTRZ-011WS

FLTRZ-001S FLTRZ-003S FLTRZ-006S FLTRZ-011S

介质温度范围 +10℃�?25�?/td>

导热介质温控精度 ±0.005℃（出口温度稳态）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

制冷量AT 10�?/td> 3kW 7kW 13kW 25kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃；
3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-201W FLTRZ-203W FLTRZ-206W FLTRZ-211W

介质温度范围 -25℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

50�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

0�?/td> 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW

-10�?/td> 2.1kW 5.2kW 9.5kW 19kW

-20�?/td> 1.3kW 3.4kW 6.2kW 12.4kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-401W FLTRZ-403W FLTRZ-406W FLTRZ-411W

介质温度范围 -40℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW

50�?/td> 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW

0�?/td> 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW

-15�?/td> 1.5kW 3.7kW 6.8kW 13kW

-25�?/td> 1kW 2.6kW 5kW 9.6kW

-35�?/td> 0.2kW 0.7kW 1.5kW 3kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.提供冷却水温度不能高�?5℃，冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号 FLTRZ-801W FLTRZ-803W FLTRZ-806W FLTRZ-811W

介质温度范围 -70℃�?0�?/td>

导热介质温控精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃）

压缩�?/td> 压缩�?变频控制)

节流方式电子膨胀阀

流量 30~60L/min 60~120L/min

制冷�?br /> kW at 90�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

20�?/td> 3kW 7.5kW 13kW 25kW

-55�?/td> 0.6kW 1.8kW 3.5kW 7kW

-65�?/td> 0.3kW 0.9kW 1.81kW 4kW

内循环容�?/td> 4L 5L 8L 12L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 25L

制冷�?/td> R744(二氧化碳)/R508B

载冷�?/td> 硅油、氟化液�?/td>

进出口接管尺�?/td> M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 900L/H 2250L/H 4400L/H 8000L/H

接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号 FLTRZ-D-D3D3W

管道通道1 通道2

温度范围 -25℃�?90�?/td> -25℃�?90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃） ±0.1℃（可定制�?.01℃）

制冷量AT -10�?/td> 5.2kW 5.2kW

制冷量AT -20�?/td> 3.4kW 3.4kW

导热介质接口 M30*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td> 冷却水量 3300L/H

接管尺寸 M38*1.5

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源单相220V 50Hz
三相220V 50&60Hz
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号 FLTRZ-D-E6E6W

管道通道1 通道2

温度范围 -40℃�?90�?/td> -40℃�?90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃） ±0.1℃（可定制�?.01℃）

制冷量AT -15�?/td> 6.8kW 6.8kW

制冷量AT -35�?/td> 2.2kW 2.2kW

导热介质接口 M38*1.5

⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td> 冷却水量 6000L/H

接管尺寸 M45*1.5

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

制冷�?/td> 二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>

工艺过程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度

标准电源三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃；
3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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产品推荐

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详细信息
FLTZH高温系列
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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 27 Apr 2025 03:52:30 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

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产品特点

Product Features

特点一控温范围�?45℃~+90℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）
特点�?/b>采用先进的变频技术，节省能耗，稳定控温

特点�?/b>先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥�?/span>

特点�?/b>符合SEMI标准，可根据客户需求定制产�?/span>

产品参数

Product Parameter

双通道系列所有型号均支持定制双通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型号 FLTZ-D-202W FLTZ-D-203W FLTZ-D-B003B203W

通道系数 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2

介质温度范围 -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td> -20~�?0�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

控制模式本体出液口温控控制模�?/td>

负载温度控制模式（通信�?/td>

出口温度控制精度 ±0.1�?/td>

冷却能力 1kW@-20�?/td> 1kW@-20�?/td> 2.5kW@-15�?/td> 2.5kW@-15�?/td> 4kW@-15�?/td> 20kW@冷却水温�?10�?/td>

4kW@10�?/td> 4kW@10�?/td> 6kW@10�?/td> 6kW@10�?/td> 10kW@10�?/td>

加热能力 1.6kW 1.6kW 5.5kW 5.5kW 2kW 5.5kW

介质类型、电阻率 DI WATER@10~18MΩ·cm 氟化�?/td> 氟化�?/td>

介质流量压力 20LPM@5bar 20LPM@5bar 20LPM@3bar 20LPM@3bar 20LPM@5bar 20LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控�?/td>

每组流量控制 15~20LPM变频调节功能

流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM

水箱容积 15L 15L 15L 15L 15L 15L

操作面板 7寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 220 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�? 220 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?/td> 11kW(49A) 18kW�?8A) 14.5kW�?5A)

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

外形尺寸cm 60*85*140 75*110*170 46*90*187

非标定制配离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制双通道液位平衡带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡

三通道系列所有型号均支持定制双通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型号 FLTZ-T-B203B205A1W FLTZ-T-B440A2A2W FLTZ-T-B210A1C1W

通道系数 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3

介质温度范围 -10~�?0�?/td> 30~�?0�?/td> -10~�?0�?/td> -40℃~+50�?/td> 30℃~+120�?/td> 30℃~+50�?/td> -25℃~+90�?/td> 30℃~+90�?/td> 25℃~+160�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td> PLC控制�?/td> PLC控制�?/td>

控制模式本体出液口温控控制模�?/td>

负载温度控制模式（通信�?/td>

出口温度控制精度 ±0.1�?/td>

冷却能力 4kW@-10�?/td> 6kW@冷却水温�?10�?/td> 3kW@-10�?/td> 20kW@-30�?/td> 20kW@50�?/td> 25kW@35�?/td> 10kW@-10�?/td> 10kW@30�?/td> 4kW@100�?/td>

16kW@20�?/td> 10kW@20�?/td>

加热能力 5.5kW 5.5kW 4kW 5.5kW 15kW 5.5kW 2kW 7.5kW 7.5kW

介质类型、电阻率氟化�?/td> 氟化�?/td> 氟化�?/td>

介质流量压力 17LPM@7bar 17LPM@7bar 17LPM@7bar 30LPM@11.5bar 30LPM@11.5bar 23LPM@10bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar

介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@1.6m³/h@2~4bar 20℃@20m³/h@2~4bar 20℃@7m³/h@2~4bar 20℃@5m³/h@2~4bar

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 Rc1 Rc1

通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控�?/td>

每组流量控制 15~20LPM变频调节功能

流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM

水箱容积 40L 40L 40L 25L 25L 25L 25L 25L 25L

操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 220 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?/td> 31kW�?13A) 65kW�?36A) 34kW�?35A)

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035

外形尺寸cm 70*100*185 115*150*210 105*135*195

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

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FLS常温高精度系�?/a>
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FLTZH高温系列
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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>
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FLTRZ二氧化碳系列
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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 25 Nov 2024 03:12:01 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度�?br /> Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录�?/p>
加载情况下控温精度高，可�?strong>-100℃~+90�?/strong>之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80�?/strong>超低温控温�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一温度范围�?100~+90℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）
特点�?/b>采用先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥�?/span>

特点�?/b>40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，无需加热�?/span>

特点�?/b>采用先进的变频技术，实现高效节能

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZ-001
FLTZ-001W FLTZ-002
FLTZ-002W FLTZ-003
FLTZ-003W FLTZ-004
FLTZ-004W FLTZ-006
FLTZ-006W FLTZ-008
FLTZ-008W FLTZ-010
FLTZ-010W FLTZ-015
FLTZ-015W

温度范围 5℃～40�?可扩展到90�?

控制模式循环液出口温度控�?/td>

工件负载温度控制（选配�?/td>

出口控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）

制冷量@20�?/td> 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW 38kW

加热能力 0.5kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

介质类型氟化液、乙二醇水溶液或DI水等

制冷剂类�?/td> R404A、R410A或R448A

介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 0.6m³/h@23�?/td> 1.1m³/h@23�?/td> 1.6m³/h@23�?/td> 2.2m³/h@23�?/td> 3.3m³/h@23�?/td> 4.4m³/h@23�?/td> 5.5m³/h@23�?/td> 8m³/h@23�?/td>

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM

流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM

操作面板 7寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 220 VAC ± 10%，单�?可定�?/220 VAC ± 10%，三�?可定�? 380 VAC ± 10%，三�?可定�?/220 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功率（max�?/td> 2.5kW 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

水冷外形尺寸cm 40*90*100 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*165

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W FLTZ-203
FLTZ-203W FLTZ-204
FLTZ-204W FLTZ-206
FLTZ-206W FLTZ-208
FLTZ-208W FLTZ-210
FLTZ-210W FLTZ-215
FLTZ-215W

温度范围 -25℃～90�?/td>

控制模式循环液出口温度控�?/td>

工件负载温度控制（选配�?/td>

出口控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）

制冷量@-15�?/td> 1kW 2kW 2.5kW 4kW 6kW 8kW 12kW

制冷量@-20�?/td> 0.8kW 1.5kW 2kW 3.5kW 5kW 6.5kW 10kW

加热能力 1.5kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

介质类型氟化液、乙二醇水溶�?/td>

制冷剂类�?/td> R404A

介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 1.1m³/h@23�?/td> 1.6m³/h@23�?/td> 2.2m³/h@23�?/td> 3.3m³/h@23�?/td> 4.4m³/h@23�?/td> 5.5m³/h@23�?/td> 8m³/h@23�?/td>

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM

流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM

操作面板 7寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 380 VAC ± 10%，三�?220 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?max) 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

水冷外形尺寸cm 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*175

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W FLTZ-403
FLTZ-403W FLTZ-404
FLTZ-404W FLTZ-406
FLTZ-406W FLTZ-408
FLTZ-408W FLTZ-410
FLTZ-410W FLTZ-415
FLTZ-415W

温度范围 -40℃～90�?/td>

控制模式循环液出口温度控�?/td>

工件负载温度控制（选配�?/td>

出口控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）

制冷量@-10�?/td> 1.5kW 3kW 3.2kW 5kW 7kW 9kW 13kW

制冷量@-30�?/td> 0.6kW 1kW 1.3kW 2kW 2.8kW 4kW 5.5kW

加热能力 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW

介质类型氟化液、乙二醇水溶�?/td>

制冷剂类�?/td> R404A

介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 1.1m³/h@23�?/td> 1.6m³/h@23�?/td> 2.2m³/h@23�?/td> 3.3m³/h@23�?/td> 4.4m³/h@23�?/td> 5.5m³/h@23�?/td> 8m³/h@23�?/td>

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM

流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM

操作面板 7寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 380 VAC ± 10%，三�?220 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功率（max�?/td> 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

水冷外形尺寸cm 48*100*115 50*108*140 50*108*140 50*108*150 80*100*165 90*110*165 100*120*175

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号 FLTZ-803
FLTZ-803W FLTZ-805
FLTZ-805W FLTZ-806
FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-8010W FLTZ-8015W FLTZ-8025W

温度范围 -80℃～50�?可扩展到100�?

控制模式循环液出口温度控�?/td>

工件负载温度控制（选配�?/td>

出口控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）

制冷量@25�?/td> 3kW 4.5kW 5kW 6.5kW 9kW 14kW 25kW

制冷量@-55�?/td> 1kW 2.5kW 2.8kW 3.2kW 4.8kW 7.5kW 10.2kW

制冷量@-70�?/td> 0.6kW 1.2kW 1.5kW 2kW 2.8kW 5.5kW 8kW

加热能力 1.5kW 2.5kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW 11kW

制冷剂类�?/td> R404A/R508B

介质类型氟化�?/td>

介质流量压力 15LPM@3bar 20LPM@3bar 25LPM@3bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar

介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 2m³/h@23�?/td> 3m³/h@23�?/td> 3.6m³/h@23�?/td> 4.8m³/h@23�?/td> 7m³/h@23�?/td> 10m³/h@23�?/td> 15m³/h@23�?/td>

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4 Rc2

膨胀罐容�?/td> 15L 15L 15L 30L 30L 40L 40L

流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM

流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM

操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 380 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功率（max�?/td> 8.5kW 12.5kW 16kW 22kW 27.5kW 38kW 60kW

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

水冷外形尺寸cm 65*90*165 70*95*175 70*95*175 80*120*185 80*120*185 100*130*185 120*160*195

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W FLTZ-1006W

温度范围 -100℃～90℃（(可扩展到100�?�?/td>

控制模式循环液出口温度控�?/td>

工件负载温度控制（选配�?/td>

出口控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）

制冷量@-90�?/td> 1.5kW 3kW 6kW

加热能力 3.5kW 5.5kW 15kW

介质类型氟化�?/td>

制冷剂类�?/td> 混合冷媒

介质流量压力 30LPM@6bar 30LPM@6bar 30LPM@6bar

介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却�?/td> 6.6m³/h 10m³/h 18m³/h

冷却水接�?/td> Rc1 Rc1 1/2 Rc2

膨胀罐容�?/td> 30L 30L 40L

流量控制 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM

流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM

操作面板 10寸彩色触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>

通讯类型支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>

安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)

电源 380 VAC ± 10%，三�?可定�?

总用电功�?max) 20.5kW 27.5kW 55kW

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

水冷外形尺寸cm 80*120*185 100*150*185 120*160*195

非标定制带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

1.额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度�?6℃�?/p>
2.此表数据仅供选型参考，如样册有更新恕不另行通知，请以机组铭牌参数为主�?/p>
3.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/p>
4.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压�?.5bar~4bar

应用原理�?/p>
CHILLER单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控温�?/p>
核心技术与优势�?/p>
1.高效节能：设备可通过内置变频器根据用户冷热负荷自动调节泵及压缩机频率，保证机组运行状态稳定适配末端负载情况，避免压缩机与电加热满负荷对抗，达到节能效果�?/p>
2.精准控温�?采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.1℃，适用于精密制造场景�?/p>
3.多场景适配�?支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用（采用去离子水可满足微电子领域用户冷媒介质低导电率需�?�?/p>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

产品推荐

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 24 Nov 2024 03:54:01 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣的⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温�?br /> 采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信�?流体的独⽴传输与精准控制�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?15~+30℃，控温精度±0.1�?/span>
特点�?/b>支持大流量大负载需求，控温稳定性高

特点�?/b>支持相关工艺三通道需求，升降温速率�?/span>

特点�?/b>两级闭环节能控制，具备自动补液功�?/span>

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZ-B-P001W FLTZ-B-D001W FLTZ-B-T001W

通道类型 1-loop independent 2-loop independent 3-loop independent

性能参数通道型号 CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH3

温度范围 25~30�?/td> -20~90�?/td> 常温~90�?/td> 10~90�?/td> 10~90�?/td> 10~90�?/td>

温度控制精度 ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td>

冷却能力 21kW@25�?/td> 35kW@5�?/td> 30kW@PCW+10�?/td> 7kW@10�?/td> 3kW@10�?/td> 8kW@10�?/td>

加热能力 2kW 4kW 38kW 2kW 4kW 6kW

循环液类�?电导�?/td> DI WATER @10~18MΩ·cm 乙二醇水溶液乙二醇水溶液氟化液HT-170 氟化液HT-170 氟化液HT-170

循环液流量压�?/td> 80LPM@0.5MPa 25LPM@0.4MPa 25LPM@0.4MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa 35LPM@0.5MPa

循环液接�?/td> Rc1 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

PCW温度 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td>

PCW流量 3.6m³/h 6m³/h 5.5m³/h 3.5m³/h

PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar

PCW接口 Rc1 Rc1 1/4 Rc1

安全装置过载保护功能压缩机、循环泵、加热器等热过载保护

电源保护功能电源过电流、过欠压、缺相等保护

液位保护低流量、低液位等保�?/td>

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO装置

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON检�?/td>

通讯类型支持多种通讯协议支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS�?/td>

安装环境环境温度 10~40�?/td>

环境湿度 30~70%RH

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

电源 220VAC±10%，三�?可定�?

外形尺寸cm 60*105*135 78*100*190 85*100*180

型号 FLTZ-B-F001W

通道类型 4-loop independent

性能参数通道型号 CH1 CH2 CH3 CH4

温度范围 -20~90�?/td> -20~90�?/td> 30~120�?/td> 30~120�?/td>

温度控制精度 ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td> ±0.1�?/td>

冷却能力 12kW@10�?/td> 12kW@10�?/td> 5kW@30�?/td> 5kW@30�?/td>

加热能力 6kW 6kW 20kW 40kW

循环液类�?电导�?/td> 氟化液HT-135 氟化液HT-135 氟化液HT-170 氟化液HT-170

循环液流量压�?/td> 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 45LPM@0.5MPa 50LPM@0.5MPa

循环液接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

PCW温度 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td> 18~22�?/td>

PCW流量 1.5m³/h 1.5m³/h 2.3m³/h 3.5m³/h

PCW压力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar

PCW接口 Rc1 1/2

安全装置过载保护功能压缩机、循环泵、加热器等热过载保护

电源保护功能电源过电流、过欠压、缺相等保护

液位保护低流量、低液位等保�?/td>

安全联锁装置 EMO+INTERLOCK

上锁挂牌装置 LOTO装置

漏液检测装�?/td> 设备内外部LEAK SENSON检�?/td>

通讯类型支持多种通讯协议支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS�?/td>

安装环境环境温度 10~40�?/td>

环境湿度 30~70%RH

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

电源 220VAC±10%，三�?可定�?

外形尺寸cm 120*160*185

1.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/p>
2.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压�?.5bar~4bar

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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FLTZH高温系列
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FLTZ-U超纯水温控系�?/a>
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FLTRZ二氧化碳系列
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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sat, 23 Nov 2024 01:12:39 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围�?strong>-20�?0�?/strong>，专为半导体行业度身定制�?/p>
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制�?/p>
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺�?/p>
快速和准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

低能耗，空间占地小，同时还能够稳定的控制温度�?/p>

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产品特点

Product Features

特点一温度范围�?20~+90℃，控温精度±0.1�?/span>
特点�?/b>温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳�?/span>

特点�?/b>改善Wafer-Wafer的稳定�?/span>

特点�?/b>低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能�?/span>

�?/span>

产品参数

Product Parameter

LNEYA 帕尔贴热电的CHILLER有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和精确的温度控�?/p>
重要功能和优�?br /> ·高可靠性和低使用成�?br /> ·工业空间占用率小
·极低的导热液填充�?br /> ·低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能�?br /> 制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接�?br /> ·动态控温，精准控制过程温度，快速温度响�?br /> ·温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳�?br /> ·改善Wafer-Wafer的稳定�?br /> ·模块化部件使得维修更加方�?br /> ·使用全氟液体

型号 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W

温度范围 -20℃~90�?/td>

控温精度 ±0.1�?/td>

制冷能力 20�?/td> 1200W 2450W 4500W

10�?/td> 900W 1925W 3500W

0�?/td> 600W 1400W 2600W

-10�?/td> 350W 875W 1600W

-20�?/td> 80W 350W 700W

制热能力 �?000W �?000W �?2000W

泵类�?/td> 直流磁力�?/td>

压力（bar�?/td> �?

流量 15L/min at 2bar

流体 Galden HT135

冷却水温�?/td> DI�?0�?/td>

冷却水流�?/td> �?2L/min �?0L/min �?2L/min

CDA开启温�?/td> �?0�?/td>

CDA压力 0.5-0.8bar

CDA流量 2-3m³/h

CDA露点温度 �?0�?/td>

电源电压 AC208V，三相电�?/td>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

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半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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伊涅亚阿登迪 — Fri, 22 Nov 2024 02:15:13 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

负压型控温设备是通过制造循环管道内的负压环境，实现管道内的流体压力在低于外界大气压的条件下循环，并且同时实现精准控温功能�?br /> 原理：通过负压发生器驱动导热介质（�?油等）循环，避免泄露风险，适用于各种类型的板卡冷却�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

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产品特点

Product Features

特点一采⽤PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.3�?/span>
特点�?/b>系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂也不会泄�?/span>

特点�?/b>⽀持纯⽔、氟化液、⼄⼆醇⽔溶液等不同介质

特点�?/b>全密闭循环，闭式循环，减少热能损�?/span>

�?/span>

产品参数

Product Parameter

核心技术与优势�?br /> 1.防泄漏设计，更安全：
系统运行时，管路处于负压状态，即使管道破裂也不会泄露贵重介质。对需要将温控装备集成在主机内部，又担心漏液导致安全风险，负压温控设备可以从根本上防止漏液出现，安全性更高�?br /> 2.精准控温�?br /> 采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.3℃，适用于精密制造场景�?br /> 3.多场景适配�?br /> 支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用�?/p>

设备名称负压循环温控设备

设备型号 ZLFQ-30 ZLFQ-80 ZLFQ-180

额定换热�?/td> 30kW 80kW 180kW

一次侧
（介质侧�?/td> 工作介质介质侧纯水、乙二醇水溶液等介质侧纯水、乙二醇水溶液等介质侧纯水、乙二醇水溶液等

额定流量 60LPM 150LPM 300LPM

储液容积 60L 120L 180L

供回液温�?/td> 25/35�?/td> 25/35�?/td> 25/35�?/td>

温控精度 ±0.3�?/td> ±0.3�?/td> ±0.3�?/td>

真空泵抽气量 75m3/h 130m³/h 250m3/h

负压压头 70KPA 70KPA 70KPA

泵浦配置 1+1冗余 1+1冗余 1+1冗余

接口尺寸 Rc1 Rc1 1/4 Rc2

二次�?br /> （冷却侧�?/td> 冷却介质 PCW PCW PCW

冷却流量 2.5m³/h 6m³/h 15m³/h

过滤精度 50um 50um 50um

接口尺寸 Rc3/4 Rc1 Rc2

控制系统 PLC控制器，前馈调节+控滞后PID算法

通讯协议 RS485串口MODBUS RTU协议/以太网接口TCP/IP协议

供液泄露�?/td> 负压循环无泄�?/td>

安全防护具有自我诊断功能；设备过载保护；低液位保护等

其他功能自动泄露检测、自动排液、自动补液等功能

电源 AC220V/50HZ�?A(max) AC220V/50HZ�?A(max) AC220V/50HZ�?2A(max)

外形尺寸cm 80*70*185 130*70*185 130*105*185

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

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半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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FLS常温高精度系�?/a>
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FLTZH高温系列
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CHILLER高温系列双通道
型号		FLTZH-2W-2T		FLTZH-5W-2T		FLTZH-10W-2T		FLTZH-5W-2T-HV
介质温度范围		50℃～+220�?/td>		50℃～+220�?/td>		50℃～+220�?/td>		50℃～+300�?/td>
控制系统		PLC控制�?/td>
温控点控制模�?/td>		本体出液口温控控制模�?/td>
		CHUCK温度控制模式（通信�?/td>
温差控制		可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差
通信协议		MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口
外接入温度反�?/td>		通过通信
介质出口温控精度		±0.1�?/td>
CHUCK温控精度		±0.5�?/td>
加热功率		2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
冷却能力 kW AT	220 �?/td>	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	150 �?/td>	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	100 �?/td>	1.5kW	1.5kW	3.5kW	3.5kW	6kW	6kW	3.5kW	3.5kW
	50 �?/td>	0.5kW	0.5kW	1.1kW	1.1kW	2kW	2kW	1.1kW	1.1kW
流量/压力		8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	15LPM 4bar	15LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸触摸屏
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
密闭循环系统		整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>
接口尺寸		Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1/2	Rc1/2
冷却水接�?/td>		Rc1/2		Rc1/2		Rc3/4		Rc1/2
冷却水流�?/td>		20LPM max at 25�?/td>		40LPM max at 25�?/td>		70LPM max at 25�?/td>		40LPM max at 25�?/td>
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
导热介质		氟化�?/td>		氟化�?/td>		氟化�?/td>		氟化�?/td>
外形尺寸 cm		4585130		4585145		55105160		45110145
电源		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A		220V 三相四线�?32A

CHILLER高温系列单通道
型号		FLTZH-5W	FLTZH-10W
介质温度范围		50℃～+220�?/td>	50℃～+220�?/td>
控制系统		PLC控制�?/td>	PLC控制�?/td>
温控点控制模�?/td>		本体出液口温控控制模�?/td>	本体出液口温控控制模�?/td>
温控点控制模�?/td>		CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>	CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>
温差控制		可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差	可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差
通信协议		MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口	MODBUS RTU 协议 RS 485接口，以太网接口
外接入温度反�?/td>		通过通信	通过通信
介质出口温控精度		±0.1�?/td>	±0.1�?/td>
CHUCK温控精度		±0.5�?/td>	±0.5�?/td>
加热功率		5.5kW	10kW
冷却能力 kW AT	220 �?/td>	5.5kW	10kW
	150 �?/td>	5.5kW	10kW
	100 �?/td>	3.5kW	6kW
	50 �?/td>	1.1kW	2kW
流量/压力		8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸触摸屏	7寸触摸屏
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
密闭循环系统		整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>	整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>
接口尺寸		Rc1/2	Rc3/4
冷却水接�?/td>		Rc1/2	Rc3/4
冷却水流�?/td>		20LPM max at 25�?/td>	35LPM max at 25�?/td>
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035	冷轧板喷塑RAL7035
导热介质		氟化�?/td>	氟化�?/td>
外形尺寸 cm		458590	55105120
电源		220V 三相四线�?32A	220V 三相四线�?32A

产品型号		FLTRZ-001W	FLTRZ-003W	FLTRZ-006W	FLTRZ-011W
		FLTRZ-001	FLTRZ-003	FLTRZ-006	FLTRZ-011
介质温度范围		+10℃�?25�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10�?/td>		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-001WS	FLTRZ-003WS	FLTRZ-006WS	FLTRZ-011WS
		FLTRZ-001S	FLTRZ-003S	FLTRZ-006S	FLTRZ-011S
介质温度范围		+10℃�?25�?/td>
导热介质温控精度		±0.005℃（出口温度稳态）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10�?/td>		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高�?2℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-201W	FLTRZ-203W	FLTRZ-206W	FLTRZ-211W
介质温度范围		-25℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	50�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	0�?/td>	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-10�?/td>	2.1kW	5.2kW	9.5kW	19kW
	-20�?/td>	1.3kW	3.4kW	6.2kW	12.4kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-401W	FLTRZ-403W	FLTRZ-406W	FLTRZ-411W
介质温度范围		-40℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	50�?/td>	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	0�?/td>	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-15�?/td>	1.5kW	3.7kW	6.8kW	13kW
	-25�?/td>	1kW	2.6kW	5kW	9.6kW
	-35�?/td>	0.2kW	0.7kW	1.5kW	3kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.提供冷却水温度不能高�?5℃，冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

产品型号		FLTRZ-801W	FLTRZ-803W	FLTRZ-806W	FLTRZ-811W
介质温度范围		-70℃�?0�?/td>
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）
压缩�?/td>		压缩�?变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷�?br /> kW at	90�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	20�?/td>	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	-55�?/td>	0.6kW	1.8kW	3.5kW	7kW
	-65�?/td>	0.3kW	0.9kW	1.81kW	4kW
内循环容�?/td>		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容�?/td>		10L	10L	15L	25L
制冷�?/td>		R744(二氧化碳)/R508B
载冷�?/td>		硅油、氟化液�?/td>
进出口接管尺�?/td>		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	900L/H	2250L/H	4400L/H	8000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号		FLTRZ-D-D3D3W
管道		通道1	通道2
温度范围		-25℃�?90�?/td>	-25℃�?90�?/td>
控温精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）	±0.1℃（可定制�?.01℃）
制冷量AT -10�?/td>		5.2kW	5.2kW
制冷量AT -20�?/td>		3.4kW	3.4kW
导热介质接口		M30*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度20�?/td>	冷却水量	3300L/H
	接管尺寸	M38*1.5
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz 三相220V 50&60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号		FLTRZ-D-E6E6W
管道		通道1	通道2
温度范围		-40℃�?90�?/td>	-40℃�?90�?/td>
控温精度		±0.1℃（可定制�?.01℃）	±0.1℃（可定制�?.01℃）
制冷量AT -15�?/td>		6.8kW	6.8kW
制冷量AT -35�?/td>		2.2kW	2.2kW
导热介质接口		M38*1.5
⽔冷型（w�?br /> 温度15�?/td>	冷却水量	6000L/H
	接管尺寸	M45*1.5
载冷�?/td>		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷�?/td>		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0�?/td>
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷�?br /> 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度�?0℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高�?3℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度�?br /> 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主�?br /> 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系�?/td>

型号	FLTZ-D-202W		FLTZ-D-203W		FLTZ-D-B003B203W
通道系数	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
介质温度范围	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>	-20~�?0�?/td>
控制系统	PLC控制�?/td>		PLC控制�?/td>		PLC控制�?/td>
控制模式	本体出液口温控控制模�?/td>
	负载温度控制模式（通信�?/td>
出口温度控制精度	±0.1�?/td>
冷却能力	1kW@-20�?/td>	1kW@-20�?/td>	2.5kW@-15�?/td>	2.5kW@-15�?/td>	4kW@-15�?/td>	20kW@冷却水温�?10�?/td>
	4kW@10�?/td>	4kW@10�?/td>	6kW@10�?/td>	6kW@10�?/td>	10kW@10�?/td>
加热能力	1.6kW	1.6kW	5.5kW	5.5kW	2kW	5.5kW
介质类型、电阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm		氟化�?/td>		氟化�?/td>
介质流量压力	20LPM@5bar	20LPM@5bar	20LPM@3bar	20LPM@3bar	20LPM@5bar	20LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	20℃@2.5m³/h@2~4bar		20℃@3.5m³/h@2~4bar		20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接�?/td>	Rc3/4		Rc3/4		Rc3/4	Rc3/4
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控�?/td>
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	15L	15L	15L	15L	15L	15L
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三�?可定�?		380 VAC ± 10%，三�?可定�?		220 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?/td>	11kW(49A)		18kW�?8A)		14.5kW�?5A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	6085140		75110170		4690187
非标定制	配离子交换树脂过滤器带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功�?br /> 可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡

型号	FLTZ-T-B203B205A1W			FLTZ-T-B440A2A2W			FLTZ-T-B210A1C1W
通道系数	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3
介质温度范围	-10~�?0�?/td>	30~�?0�?/td>	-10~�?0�?/td>	-40℃~+50�?/td>	30℃~+120�?/td>	30℃~+50�?/td>	-25℃~+90�?/td>	30℃~+90�?/td>	25℃~+160�?/td>
控制系统	PLC控制�?/td>			PLC控制�?/td>			PLC控制�?/td>
控制模式	本体出液口温控控制模�?/td>
	负载温度控制模式（通信�?/td>
出口温度控制精度	±0.1�?/td>
冷却能力	4kW@-10�?/td>	6kW@冷却水温�?10�?/td>	3kW@-10�?/td>	20kW@-30�?/td>	20kW@50�?/td>	25kW@35�?/td>	10kW@-10�?/td>	10kW@30�?/td>	4kW@100�?/td>
	16kW@20�?/td>		10kW@20�?/td>
加热能力	5.5kW	5.5kW	4kW	5.5kW	15kW	5.5kW	2kW	7.5kW	7.5kW
介质类型、电阻率	氟化�?/td>			氟化�?/td>			氟化�?/td>
介质流量压力	17LPM@7bar	17LPM@7bar	17LPM@7bar	30LPM@11.5bar	30LPM@11.5bar	23LPM@10bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@2.5m³/h@2~4bar	20℃@1.6m³/h@2~4bar	20℃@20m³/h@2~4bar	20℃@7m³/h@2~4bar		20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接�?/td>	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1	Rc1	Rc1
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控�?/td>
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	40L	40L	40L	25L	25L	25L	25L	25L	25L
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三�?可定�?			380 VAC ± 10%，三�?可定�?			380 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?/td>	31kW�?13A)			65kW�?36A)			34kW�?35A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	70100185			115150210			105135195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

型号	FLTZ-001 FLTZ-001W	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度范围	5℃～40�?可扩展到90�?
控制模式	循环液出口温度控�?/td>
控制模式	工件负载温度控制（选配�?/td>
出口控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@20�?/td>	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW	38kW
加热能力	0.5kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
制冷剂类�?/td>	R404A、R410A或R448A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	0.6m³/h@23�?/td>	1.1m³/h@23�?/td>	1.6m³/h@23�?/td>	2.2m³/h@23�?/td>	3.3m³/h@23�?/td>	4.4m³/h@23�?/td>	5.5m³/h@23�?/td>	8m³/h@23�?/td>
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，单�?可定�?/220 VAC ± 10%，三�?可定�?		380 VAC ± 10%，三�?可定�?/220 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功率（max�?/td>	2.5kW	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4090100	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120165
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度范围	-25℃～90�?/td>
控制模式	循环液出口温度控�?/td>
控制模式	工件负载温度控制（选配�?/td>
出口控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-15�?/td>	1kW	2kW	2.5kW	4kW	6kW	8kW	12kW
制冷量@-20�?/td>	0.8kW	1.5kW	2kW	3.5kW	5kW	6.5kW	10kW
加热能力	1.5kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶�?/td>
制冷剂类�?/td>	R404A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	1.1m³/h@23�?/td>	1.6m³/h@23�?/td>	2.2m³/h@23�?/td>	3.3m³/h@23�?/td>	4.4m³/h@23�?/td>	5.5m³/h@23�?/td>	8m³/h@23�?/td>
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三�?220 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?max)	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120175
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
温度范围	-40℃～90�?/td>
控制模式	循环液出口温度控�?/td>
控制模式	工件负载温度控制（选配�?/td>
出口控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-10�?/td>	1.5kW	3kW	3.2kW	5kW	7kW	9kW	13kW
制冷量@-30�?/td>	0.6kW	1kW	1.3kW	2kW	2.8kW	4kW	5.5kW
加热能力	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介质类型	氟化液、乙二醇水溶�?/td>
制冷剂类�?/td>	R404A
介质流量压力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	1.1m³/h@23�?/td>	1.6m³/h@23�?/td>	2.2m³/h@23�?/td>	3.3m³/h@23�?/td>	4.4m³/h@23�?/td>	5.5m³/h@23�?/td>	8m³/h@23�?/td>
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三�?220 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功率（max�?/td>	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	50108140	50108140	50108150	80100165	90110165	100120175
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号	FLTZ-803 FLTZ-803W	FLTZ-805 FLTZ-805W	FLTZ-806 FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-8010W	FLTZ-8015W	FLTZ-8025W
温度范围	-80℃～50�?可扩展到100�?
控制模式	循环液出口温度控�?/td>
控制模式	工件负载温度控制（选配�?/td>
出口控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@25�?/td>	3kW	4.5kW	5kW	6.5kW	9kW	14kW	25kW
制冷量@-55�?/td>	1kW	2.5kW	2.8kW	3.2kW	4.8kW	7.5kW	10.2kW
制冷量@-70�?/td>	0.6kW	1.2kW	1.5kW	2kW	2.8kW	5.5kW	8kW
加热能力	1.5kW	2.5kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW	11kW
制冷剂类�?/td>	R404A/R508B
介质类型	氟化�?/td>
介质流量压力	15LPM@3bar	20LPM@3bar	25LPM@3bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	2m³/h@23�?/td>	3m³/h@23�?/td>	3.6m³/h@23�?/td>	4.8m³/h@23�?/td>	7m³/h@23�?/td>	10m³/h@23�?/td>	15m³/h@23�?/td>
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4	Rc2
膨胀罐容�?/td>	15L	15L	15L	30L	30L	40L	40L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功率（max�?/td>	8.5kW	12.5kW	16kW	22kW	27.5kW	38kW	60kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	6590165	7095175	7095175	80120185	80120185	100130185	120160195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W	FLTZ-1006W
温度范围	-100℃～90℃（(可扩展到100�?�?/td>
控制模式	循环液出口温度控�?/td>
控制模式	工件负载温度控制（选配�?/td>
出口控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制	可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-90�?/td>	1.5kW	3kW	6kW
加热能力	3.5kW	5.5kW	15kW
介质类型	氟化�?/td>
制冷剂类�?/td>	混合冷媒
介质流量压力	30LPM@6bar	30LPM@6bar	30LPM@6bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却�?/td>	6.6m³/h	10m³/h	18m³/h
冷却水接�?/td>	Rc1	Rc1 1/2	Rc2
膨胀罐容�?/td>	30L	30L	40L
流量控制	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM
流量显示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保�?/td>
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等�?/td>
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	380 VAC ± 10%，三�?可定�?
总用电功�?max)	20.5kW	27.5kW	55kW
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	80120185	100150185	120160195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认�?/td>

型号		FLTZ-B-P001W	FLTZ-B-D001W		FLTZ-B-T001W
通道类型		1-loop independent	2-loop independent		3-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH3
	温度范围	25~30�?/td>	-20~90�?/td>	常温~90�?/td>	10~90�?/td>	10~90�?/td>	10~90�?/td>
	温度控制精度	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>
	冷却能力	21kW@25�?/td>	35kW@5�?/td>	30kW@PCW+10�?/td>	7kW@10�?/td>	3kW@10�?/td>	8kW@10�?/td>
	加热能力	2kW	4kW	38kW	2kW	4kW	6kW
	循环液类�?电导�?/td>	DI WATER @10~18MΩ·cm	乙二醇水溶液	乙二醇水溶液	氟化液HT-170	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压�?/td>	80LPM@0.5MPa	25LPM@0.4MPa	25LPM@0.4MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa
	循环液接�?/td>	Rc1	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>
	PCW流量	3.6m³/h	6m³/h	5.5m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1	Rc1 1/4		Rc1
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保�?/td>
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON检�?/td>
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS�?/td>
安装环境	环境温度	10~40�?/td>
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三�?可定�?
外形尺寸cm		60105135	78100190		85100180

型号		FLTZ-B-F001W
通道类型		4-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH2	CH3	CH4
	温度范围	-20~90�?/td>	-20~90�?/td>	30~120�?/td>	30~120�?/td>
	温度控制精度	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>	±0.1�?/td>
	冷却能力	12kW@10�?/td>	12kW@10�?/td>	5kW@30�?/td>	5kW@30�?/td>
	加热能力	6kW	6kW	20kW	40kW
	循环液类�?电导�?/td>	氟化液HT-135	氟化液HT-135	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压�?/td>	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	50LPM@0.5MPa
	循环液接�?/td>	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>	18~22�?/td>
	PCW流量	1.5m³/h	1.5m³/h	2.3m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1 1/2
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保�?/td>
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装�?/td>	设备内外部LEAK SENSON检�?/td>
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS�?/td>
安装环境	环境温度	10~40�?/td>
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三�?可定�?
外形尺寸cm		120160185

型号		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
温度范围		-20℃~90�?/td>
控温精度		±0.1�?/td>
制冷能力	20�?/td>	1200W	2450W	4500W
	10�?/td>	900W	1925W	3500W
	0�?/td>	600W	1400W	2600W
	-10�?/td>	350W	875W	1600W
	-20�?/td>	80W	350W	700W
制热能力		�?000W	�?000W	�?2000W
泵类�?/td>		直流磁力�?/td>
压力（bar�?/td>		�?
流量		15L/min at 2bar
流体		Galden HT135
冷却水温�?/td>		DI�?0�?/td>
冷却水流�?/td>		�?2L/min	�?0L/min	�?2L/min
CDA开启温�?/td>		�?0�?/td>
CDA压力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m³/h
CDA露点温度		�?0�?/td>
电源电压		AC208V，三相电�?/td>

设备名称		负压循环温控设备
设备型号		ZLFQ-30	ZLFQ-80	ZLFQ-180
额定换热�?/td>		30kW	80kW	180kW
一次侧（介质侧�?/td>	工作介质	介质侧纯水、乙二醇水溶液等	介质侧纯水、乙二醇水溶液等	介质侧纯水、乙二醇水溶液等
	额定流量	60LPM	150LPM	300LPM
	储液容积	60L	120L	180L
	供回液温�?/td>	25/35�?/td>	25/35�?/td>	25/35�?/td>
	温控精度	±0.3�?/td>	±0.3�?/td>	±0.3�?/td>
	真空泵抽气量	75m3/h	130m³/h	250m3/h
	负压压头	70KPA	70KPA	70KPA
	泵浦配置	1+1冗余	1+1冗余	1+1冗余
	接口尺寸	Rc1	Rc1 1/4	Rc2
二次�?br /> （冷却侧�?/td>	冷却介质	PCW	PCW	PCW
	冷却流量	2.5m³/h	6m³/h	15m³/h
	过滤精度	50um	50um	50um
	接口尺寸	Rc3/4	Rc1	Rc2
控制系统		PLC控制器，前馈调节+控滞后PID算法
通讯协议		RS485串口MODBUS RTU协议/以太网接口TCP/IP协议
供液泄露�?/td>		负压循环无泄�?/td>
安全防护		具有自我诊断功能；设备过载保护；低液位保护等
其他功能		自动泄露检测、自动排液、自动补液等功能
电源		AC220V/50HZ�?A(max)	AC220V/50HZ�?A(max)	AC220V/50HZ�?2A(max)
外形尺寸cm		8070185	13070185	130105185