Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 27 Apr 2025 03:52:30 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性�?/p>

每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤�?/p>

加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?45℃~+90℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）

特点�?/b>采用先进的变频技术，节省能耗，稳定控温

特点�?/b>先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥�?/span>

特点�?/b>符合SEMI标准，可根据客户需求定制产�?/span>

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZ-203W-2T

管道通道1 通道2

温度范围 -20℃～+90�?/td> -20℃～+90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

制冷�?/td> 4kW@-10�?/td> 4kW@-10�?/td>

加热能力 2kW 2kW

流量/压力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5�?/td> 10�?5�?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 20L/min 20L/min

断路�?/td> 30A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

重量 400kg

外形尺寸 cm 50*90*160

型号 FLTZ-406W/ETCU-015W

管道通道1 通道2

温度范围 -45℃～+40�?/td> +10℃～+80�?/td>

温度稳定�?/td> ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

冷却能力 11kW@-20�?br /> 5kW@-40�?/td> 13kW@+10�?/td>

加热能力 2kW 6kW

流量/压力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5�?/td> 10�?5�?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 40L/min 20L/min

断路�?/td> 80A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

重量 550kg

外形尺寸 cm 60*100*185

型号 FLTZ-203W/2T双系�?/td> FLTZ-305W/2T 双系�?/td> FLTZ-406W/2T 双系�?/td>

温度范围 -20℃~90�?/td> -30℃~90�?/td> -45℃~90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

流量/压力 MAX 15~45L/min 6bar

制热 2.5kW 2.5kW 2.5kW 2.5kW 3.5kW 3.5kW

制冷�?/td> 3kW at-15�?/td> 3kW at-15�?/td> 5kW at-15�?/td> 5kW at-15�?/td> 2.5kW at -35�?/td> 2.5kW at -35�?/td>

内循环液容积 5L 5L 8L 8L 8L 8L

膨胀罐容�?/td> 15L 25L 25L

导热介质氟化液、防冻液、导热硅油等

制冷�?/td> R404A/ R448

导热介质接口 Rc3/4

冷却水接�?/td> Rc3/4

冷却�?/td> 50L/min at20�?/td> 60L/min at20�?/td> 50L/min at20�?/td>

电源三相220V / 三相400V /三相460V

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号 FLTZH-5W/2T

介质温度范围 40℃～+250�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?br /> 本体回液口温度控制模�?br /> CHUCK入口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK回口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td>

加热功率 5.5kW 5.5kW

冷却能力 kW AT 250 �?/td> 5.5kW 5.5kW

150 �?/td> 5kW 5kW

100 �?/td> 4kW 4kW

50 �?/td> 2kW 2kW

流量/压力 8L/min 4bar 8L/min 4bar

操作面板 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2

冷却水接�?/td> Rc1/2

冷却水流�?/td> 10L/min max at 25�?/td>

导热介质氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*145（可定制化）

重量kg �?0KG

电源 220V 三相四线�?32A

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度�?6℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃�?/h6>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 25 Nov 2024 03:12:01 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度�?br /> Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录�?/p>
加载情况下控温精度高，可�?strong>-100℃~+90�?/strong>之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80�?/strong>超低温控温�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一温度范围�?100~+90℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）
特点�?/b>采用先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥�?/span>

特点�?/b>40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，无需加热�?/span>

特点�?/b>采用先进的变频技术，实现高效节能

产品参数

Product Parameter

FLTZ 5℃～90�?/p>

型号 FLTZ-002
FLTZ-002W FLTZ-003
FLTZ-003W FLTZ-004
FLTZ-004W FLTZ-006
FLTZ-006W FLTZ-008
FLTZ-008W FLTZ-010
FLTZ-010W FLTZ-015
FLTZ-015W

温度范围 5℃～90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

制冷量at10�?/td> 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW

内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

制冷�?/td> R410A

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控�?0℃以上）

进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

冷却水口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8

冷却水流量at20�?/td> 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 950*380*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

FLTZ -25℃～+90�?/p>

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W FLTZ-203
FLTZ-203W FLTZ-204
FLTZ-204W FLTZ-206
FLTZ-206W FLTZ-208
FLTZ-208W FLTZ-210
FLTZ-210W FLTZ-215
FLTZ-215W

温度范围 -25℃～90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

流量 MAX 10�?5L/min 15�?5L/min 25�?5L/min

制冷量at-15�?/td> 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW

内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

制冷�?/td> R404A

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 1/8

冷却水流量at20�?/td> 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150

FLTZ -45℃～+90�?/p>

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W FLTZ-403
FLTZ-403W FLTZ-404
FLTZ-404W FLTZ-406
FLTZ-406W FLTZ-408
FLTZ-408W FLTZ-410
FLTZ-410W FLTZ-415
FLTZ-415W

温度范围 -45℃～90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

流量/压力 MAX 10�?5L/min 5bar max 15�?5L/min 5bar max 25�?5L/min 5bar max

制热采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技�?/td>

制冷量at-35�?/td> 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW

内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L

制冷�?/td> R404A

载冷�?/td> 硅油、氟化液、乙醇水溶液�?/td>

进出接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 Rc1 Rc1 1/8

冷却水流量at20�?/td> 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

外形尺寸 cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*50*150 108*50*150

FLTZ -80℃～+90�?/p>

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W

温度范围 -80℃～+90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

流量/压力 MAX 7�?5L/min 5bar 12�?5L/min 6bar

制冷量at-70�?/td> 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW

加热功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW

内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L

膨胀罐容�?/td> 10L 10L 15L 15L 20L

导热介质氟化�?/td>

进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

冷却水at20�?/td> 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h

断路�?/td> 25A 25A 32A 40A 50A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

FLTZ -100℃～+90�?/p>

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W

温度范围 -100℃～+90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

流量 MAX 7�?5L/min 12�?5L/min

制冷量at-90�?/td> 1.5kW 3kW

加热功率 3.5kW 5.5kW

内循环液容积 5L 8L

膨胀罐容�?/td> 10L 15L

导热介质氟化�?/td>

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4

冷却水接�?/td> Rc3/4 Rc1

冷却水at20�?/td> 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar

断路�?/td> 32A 63A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号 FLTZ-001S FLTZ-002S
FLTZ-002WS FLTZ-003S
FLTZ-003WS FLTZ-004S
FLTZ-004WS FLTZ-006S
FLTZ-006WS FLTZ-008WS FLTZ-010WS

温度范围 15℃～25�?/td>

控温精度 ±0.005℃�?设备出口温度控制精度

流量 7L/min 3bar 15L/min at 4bar 30L/min at 4bar 75L/min at 4bar

制热采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技�?/td>

制冷量@20�?/td> 3kW 7kW 10.5kW 14kW 21kW 28kW 35kW

液体容积 8L 15L 20L 30L 50L 60L 80L

制冷�?/td> R1234fa （ODP=0 GWP=4�?/td>

载冷�?/td> 纯净�?/td>

控制�?/td> PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算�?/td>

温度控制导热介质出口温度控制模式 pt100

外接温度传感器：（PT100�?�?0mA或通信给定）控制模式（串级控制�?/td>

通信协议以太网接口TCP/IP协议

RS485接口 modbus RTU协议

设备内部温度反馈设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、压缩机排吸气温度、冷却水温度（水冷设备有�?/td>

系统压力制冷系统压力采集高低压压力传感器

循环系统压力采集进出口位置采用压力传感器

循环�?/td> 磁力无机械密封循环泵

蒸发�?/td> 板式换热�?/td>

冷凝�?/td> 微通道冷凝器（风冷�?/td>

板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水

制冷节流电子膨胀阀

操作面板 7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；压力保护，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能�?/td>

系统捡漏制冷系统100%氦检出厂循环系统100%氦检出厂

进出接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

冷却水接�?/td> Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1

外壳冷轧板喷塑RAL7035

所有设备额定测试条件：⼲球温度�?0℃；湿球温度�?6℃。进⽔温度：20℃；出⽔温度�?5℃�?/strong>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

产品推荐

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双通道系列 Dual Channel Chiller
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单通道系列 Single Channel Chiller
详细信息
三通道系列 Triple Channel Chiller
详细信息
面板系列Panel Chiller
详细信息

Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 25 Nov 2024 03:11:22 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等�?/p>
公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度，加载情况下控温精度可达±0.1C，可�?20℃~+100℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?20℃～+100℃，控温精度：�?.1℃（可定制�?.01℃）
特点�?/b>优化系统传热设计，节省循环液使用�?/span>

特点�?/b>三通道整合，支持每个通道独立控温范围、导热介质流�?/span>

特点�?/b>深化性能开发，匹配先进刻蚀工艺需�?/span>

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZ-203W/ETCU-008W

管道通道1 通道2 通道3

温度范围 -10℃～+60�?/td> +30℃～+80�?/td> -10℃～+80�?/td>

温度稳定�?/td> ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

冷却能力 4kW@-10�?21kW@+20�?/td> 6 kW@+30�?/td> 3kW@-10�?/td>

加热能力 4kW 4.5+6kW 3kW

流量/压力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 30L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td>

断路�?/td> 100A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度

重量 600kg

外形尺寸 cm 60*100*170

型号 FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W

管道通道1 通道2 通道3

温度范围 -20℃～+50�?/td> +30℃～+100�?/td> +30℃～+40�?/td>

温度稳定�?/td> ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

冷却能力 15kW@-10�?/td> 13kW@PCW+15�?/td> 8kW@PCW+10�?/td>

加热能力 2kW 6kW Pump Heat Loss

流量/压力 MAX 30L/min 0.85MPa 30L/min 0.85MPa 20L/min 0.8MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 30L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td>

断路�?/td> 75A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

重量 600kg

外形尺寸 cm 60*100*170

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

了解更多

产品推荐

Recommendation

双通道系列 Dual Channel Chiller
详细信息
单通道系列 Single Channel Chiller
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三通道系列 Triple Channel Chiller
详细信息
面板系列Panel Chiller
详细信息

Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sun, 24 Nov 2024 03:54:01 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温�?br /> 采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信�?流体的独⽴传输与精准控制�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

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产品特点

Product Features

特点一控温范围�?15~+30℃，控温精度±0.1�?/span>
特点�?/b>支持大流量大负载需求，控温稳定性高

特点�?/b>支持相关工艺三通道需求，升降温速率�?/span>

特点�?/b>两级闭环节能控制，具备自动补液功�?/span>

产品参数

Product Parameter

双通道Panel Chiller

型号 FLTZ-203W-2T

管道通道1 通道2

温度范围 -20℃～+90�?/td> -20℃～+90�?/td>

控温精度 ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

制冷�?/td> 4kW@-10�?/td> 4kW@-10�?/td>

加热能力 2kW 2kW

流量/压力 MAX 20L/min 0.5MPa 20L/min 0.5MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5�?/td> 10�?5�?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 20L/min 20L/min

断路�?/td> 30A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

重量 400kg

外形尺寸 cm 50*90*160

三通道Panel Chiller

型号 FLTZ-203W/ETCU-008W

管道通道1 通道2 通道3

温度范围 -10℃～+60�?/td> +30℃～+80�?/td> -10℃～+80�?/td>

温度稳定�?/td> ±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）

冷却能力 4kW@-10�?21kW@+20�?/td> 6 kW@+30�?/td> 3kW@-10�?/td>

加热能力 4kW 4.5+6kW 3kW

流量/压力 MAX 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa 17L/min 0.7MPa

导热介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4

环境温度 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td> 10�?5 �?/td>

环境湿度 30�?0% 30�?0% 30�?0%

冷却水温�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td> 15�?0�?/td>

冷却水流�?/td> 30L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td> 15L/min@15~20�?/td>

断路�?/td> 100A

⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度

重量 600kg

外形尺寸 cm 60*100*170

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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产品推荐

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双通道系列 Dual Channel Chiller
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单通道系列 Single Channel Chiller
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三通道系列 Triple Channel Chiller
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面板系列Panel Chiller
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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sat, 23 Nov 2024 01:12:39 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围�?strong>-20�?0�?/strong>，专为半导体行业度身定制�?/p>
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制�?/p>
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺�?/p>
快速和准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

低能耗，空间占地小，同时还能够稳定的控制温度�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一温度范围�?20~+90℃，控温精度±0.1�?/span>
特点�?/b>温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳�?/span>

特点�?/b>改善Wafer-Wafer的稳定�?/span>

特点�?/b>低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能�?/span>

�?/span>

产品参数

Product Parameter

LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和精确的温度控�?/p>

高可靠性和低使用成本；工业空间占用率小；极低的导热液填充量�?/li>
低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗；

制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触；动态控温，精准控制过程温度，快速温度响应；

温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定；改善Wafer-Wafer的稳定性；模块化部件使得维修更加方便；使用全氟液体�?/li>

型号 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W

温度范围 -20℃~90�?/td>

控温精度 ±0.1�?/td>

制冷能力 20�?/td> 1200W 2450W 4500W

10�?/td> 900W 1925W 3500W

0�?/td> 600W 1400W 2600W

-10�?/td> 350W 875W 1600W

-20�?/td> 80W 350W 700W

制热能力 �?000W �?000W �?2000W

泵类�?/td> 直流磁力�?/td>

压力（bar�?/td> �?

流量 15L/min at 2bar

流体 Galden HT135

冷却水温�?/td> DI�?0�?/td>

冷却水流�?/td> �?2L/min �?0L/min �?2L/min

CDA开启温�?/td> �?0�?/td>

CDA压力 0.5-0.8bar

CDA流量 2-3m³/h

CDA露点温度 �?0�?/td>

电源电压 AC208V，三相电�?/td>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Fri, 22 Nov 2024 02:03:27 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

冠亚恒温LNEYA双通道⾼温控温的Chiller，可以⽤来满⾜半导体⾼温测试需求，介质温度最⾼可�?50℃，以特殊的⼯艺⽅式，保证系统⾼温⼯况下的控温精度�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?0℃～+250�?/span>
特点�?/b>满⾜半导体⾼温测试需求，介质温度最⾼可�?50�?/span>

特点�?/b>介质出口温控精度：�?.1�?/span>

特点�?/b>CHUCK温控精度：�?.5�?/span>

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZH-5W/2T

介质温度范围 40℃～+250�?/td>

控制系统 PLC控制�?/td>

温控点控制模�?/td> 本体出液口温控控制模�?br /> 本体回液口温度控制模�?br /> CHUCK入口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK回口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>

温差控制可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差

通信协议 MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口

外接入温度反�?/td> 通过通信

介质出口温控精度 ±0.1�?/td>

CHUCK温控精度 ±0.5�?/td>

加热功率 5.5kW 5.5kW

冷却能力 kW AT 250 �?/td> 5.5kW 5.5kW

150 �?/td> 5kW 5kW

100 �?/td> 4kW 4kW

50 �?/td> 2kW 2kW

流量/压力 8L/min 4bar 8L/min 4bar

操作面板 7寸触摸屏

安全防护具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护

密闭循环系统整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>

接口尺寸 G1/2 G1/2

冷却水接�?/td> Rc1/2

冷却水流�?/td> 10L/min max at 25�?/td>

导热介质氟化�?/td>

外形尺寸 cm 45*85*145（可定制化）

重量kg �?0KG

电源 220V 三相四线�?32A

外壳材质冷轧板喷塑RAL7035

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Sat, 25 May 2024 03:10:37 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

ETCU换热控温单元冷却⽔温度范围：+5℃�?90℃，控温精度±0.05℃；系统⽆压缩机，通过换热降温；⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制；采⽤西⻔⼦/霍尼⻙尔调节阀控制冷却⽔流量；最⼤循环量时，控温温度与冷却⽔温度温差15°C�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一控温范围�?℃～+90�?/span>
特点�?/b>系统⽆压缩机，通过换热降温

特点�?/b>控温精度：�?.05�?/span>

特点�?/b>⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制

产品参数

Product Parameter

型号 ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W

温度范围冷却水温�?+5℃~90�?/td>

控温精度 ±0.05℃（出口温度稳态）

冷却水温�?/td> 7℃~30�?采用西门�?霍尼韦尔调节阀控制冷却水流�?/td>

冷却能力 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW

测试条件：最大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15�?/td>

流量/压力 MAX 7~20L/min 5bar 15~40L/min 5bar 20~60L/min 5bar 40~110L/min 5bar 150~250L/min 5bar 250~500L/min 5bar 400~650L/min 5bar

储罐容积 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L

外形尺寸 cm 48*75*39 48*75*39 48*75*50 定制定制定制定制

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Tue, 07 Nov 2023 01:41:40 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性，因此，没有任何一种工作介质能在如此严酷的环境下与全氟聚醚油相媲美�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一常温下为无色透明的油状液�?/span>
特点�?/b>高稳定性、高可靠性、安全�?/span>

特点�?/b>耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射

特点�?/b>主要用作润滑油、真空泵�?/span>

产品参数

Product Parameter

性能对比常规润滑�?/td> 全氟聚醚�?/td>

氧气缓慢氧化，产生酸或油泥剧烈氧化，着火或爆炸不反应、不燃烧

高温速氧化，积碳或结焦加速挥发、泄�?/td> 无积碳、不易挥发、不流失

水或潮湿环境乳化，被水淋�?/td> 不溶于水

化学物质被酸、碱、有机溶剂等腐蚀化学品稳定�?/td>

接触部件腐蚀密封材料润滑剂泄露，损坏设备宽广的材料相容性，无腐蚀

基础油�?/td> CLKDOC138

适用温度范围 �?/td> /

�?/td> �?94~150

粘度,cSt
ASTM D445 20℃（68℉） 7

40℃（104℉） 4

100℃（212℉） /

粘度指数, ASTM D2270 /

倾点ASTM D97 �?/td> �?70

�?/td> �?94

密度g/mL 0℃（32℉） 1.87

100℃（212℉） 1.67

蒸发损失
ASTM D972
22小时质量损失
(wt%) 66℃（150℉） 11

121℃（250℉） 87

204℃（400℉） /

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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Chiller高精度冷热循环器 – 冷冻�?工业冷冻�?高低温一体机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 07 Nov 2022 01:02:52 +0000

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。除优良的环境性质外，氢氟醚还具有热稳定性和化学稳定性、适度的溶解性、毒性低、无腐蚀性、不燃、不产生烟尘、材料兼容性好等特点，易于贮藏和运输，被广泛应用于医疗、电子、金属、精
密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域�?br /> 氢氟醚CLKDOC78作为美国环境保护部（EPA）确定的氟利昂替代物清单（SNAP）清单中的清洁剂和冷媒，且已被EPA排除在挥发性有机化合物（VOC）之列。可用于仪器、电子、半导体、医疗设备、航空航天等制造行业�?/p>

全国服务热线 400-100-3163

首页 / 产品中心 / Chiller高精度冷热循环器

产品特点

Product Features

特点一氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物

特点�?/b>具有热稳定性和化学稳定�?/span>

特点�?/b>具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零

特点�?/b>用于仪器、电子、半导体、医疗设备、航空航天等制造行�?/span>

产品参数

Product Parameter

�?�?�?�?/td> 单位 CLKDOC78

材料描述成分 C₄F₉OC₂H₅

Cas�?/td> 163702-06-5

分子�?/td> g/mol 264

纯度 % 99.5

非挥发物质含�?/td> ppm <2.0

外观无色透明

理化性质沸点 �?/td> 76

倾点 �?/td> -138

临界温度临界压力 �?/td> 210

临界压力 Mpa 2.01

蒸汽�?/td> kPa 14.5

蒸发潜热 J/g 126

液体密度 g/cm³ 1.43

比热�?/td> J/Kg-K 1220

热导�?/td> W/m-K 0.069

溶水�?/td> ppmw 92

介电强度0.1″gap kV >25

介电常数@1kHz / 7.35

体积电阻�?/td> Ohm-cm 10⁸

环保与安�?/td> 臭氧层破坏潜值ODP 0

温室效应潜值GWP 59

大气寿命 Year 0.77

闪点 �?/td> �?/td>

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感�?/p>
精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率�?/p>

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方�?/p>

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能�?/p>

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型号	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
温度范围	-20℃～+90�?/td>	-20℃～+90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
制冷�?/td>	4kW@-10�?/td>	4kW@-10�?/td>
加热能力	2kW	2kW
流量/压力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4
环境温度	10�?5�?/td>	10�?5�?/td>
环境湿度	30�?0%	30�?0%
冷却水温�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>
冷却水流�?/td>	20L/min	20L/min
断路�?/td>	30A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

型号	FLTZ-406W/ETCU-015W
管道	通道1	通道2
温度范围	-45℃～+40�?/td>	+10℃～+80�?/td>
温度稳定�?/td>	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
冷却能力	11kW@-20�?br /> 5kW@-40�?/td>	13kW@+10�?/td>
加热能力	2kW	6kW
流量/压力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4
环境温度	10�?5�?/td>	10�?5�?/td>
环境湿度	30�?0%	30�?0%
冷却水温�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>
冷却水流�?/td>	40L/min	20L/min
断路�?/td>	80A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	550kg
外形尺寸 cm	60100185

型号	FLTZ-203W/2T双系�?/td>		FLTZ-305W/2T 双系�?/td>		FLTZ-406W/2T 双系�?/td>
温度范围	-20℃~90�?/td>		-30℃~90�?/td>		-45℃~90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX	15~45L/min 6bar
制热	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷�?/td>	3kW at-15�?/td>	3kW at-15�?/td>	5kW at-15�?/td>	5kW at-15�?/td>	2.5kW at -35�?/td>	2.5kW at -35�?/td>
内循环液容积	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨胀罐容�?/td>	15L		25L		25L
导热介质	氟化液、防冻液、导热硅油等
制冷�?/td>	R404A/ R448
导热介质接口	Rc3/4
冷却水接�?/td>	Rc3/4
冷却�?/td>	50L/min at20�?/td>		60L/min at20�?/td>		50L/min at20�?/td>
电源	三相220V / 三相400V /三相460V
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号		FLTZH-5W/2T
介质温度范围		40℃～+250�?/td>
控制系统		PLC控制�?/td>
温控点控制模�?/td>		本体出液口温控控制模�?br /> 本体回液口温度控制模�?br /> CHUCK入口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK回口温度控制模式（通信�?br /> CHUCK本体温度控制模式（通信�?/td>
温差控制		可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差
通信协议		MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口
外接入温度反�?/td>		通过通信
介质出口温控精度		±0.1�?/td>
CHUCK温控精度		±0.5�?/td>
加热功率		5.5kW	5.5kW
冷却能力 kW AT	250 �?/td>	5.5kW	5.5kW
	150 �?/td>	5kW	5kW
	100 �?/td>	4kW	4kW
	50 �?/td>	2kW	2kW
流量/压力		8L/min 4bar	8L/min 4bar
操作面板		7寸触摸屏
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
密闭循环系统		整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质�?/td>
接口尺寸		Rc1/2	Rc1/2
冷却水接�?/td>		Rc1/2
冷却水流�?/td>		10L/min max at 25�?/td>
导热介质		氟化�?/td>
外形尺寸 cm		4585145（可定制化）
重量kg		�?0KG
电源		220V 三相四线�?32A
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035

型号	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度范围	5℃～90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
制冷量at10�?/td>	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷�?/td>	R410A
载冷�?/td>	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控�?0℃以上）
进出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷却水流量at20�?/td>	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	950380106	9843140	9843140	10860150	10860150

型号	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度范围	-25℃～90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
流量 MAX	10�?5L/min		15�?5L/min			25�?5L/min
制冷量at-15�?/td>	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷�?/td>	R404A
载冷�?/td>	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷却水流量at20�?/td>	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10860150	10860150

型号	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
温度范围	-45℃～90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX	10�?5L/min 5bar max		15�?5L/min 5bar max			25�?5L/min 5bar max
制热	采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技�?/td>
制冷量at-35�?/td>	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷�?/td>	R404A
载冷�?/td>	硅油、氟化液、乙醇水溶液�?/td>
进出接口尺寸	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷却水流量at20�?/td>	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10850150	10850150

型号	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
温度范围	-80℃～+90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX	7�?5L/min 5bar		12�?5L/min 6bar
制冷量at-70�?/td>	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
加热功率	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L
膨胀罐容�?/td>	10L	10L	15L	15L	20L
导热介质	氟化�?/td>
进出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水接�?/td>	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水at20�?/td>	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
断路�?/td>	25A	25A	32A	40A	50A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
温度范围	-100℃～+90�?/td>
控温精度	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
流量 MAX	7�?5L/min	12�?5L/min
制冷量at-90�?/td>	1.5kW	3kW
加热功率	3.5kW	5.5kW
内循环液容积	5L	8L
膨胀罐容�?/td>	10L	15L
导热介质	氟化�?/td>
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4
冷却水接�?/td>	Rc3/4	Rc1
冷却水at20�?/td>	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
断路�?/td>	32A	63A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

型号	FLTZ-001S	FLTZ-002S FLTZ-002WS	FLTZ-003S FLTZ-003WS	FLTZ-004S FLTZ-004WS	FLTZ-006S FLTZ-006WS	FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
温度范围	15℃～25�?/td>
控温精度	±0.005℃�?设备出口温度控制精度
流量	7L/min 3bar	15L/min at 4bar		30L/min at 4bar		75L/min at 4bar
制热	采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技�?/td>
制冷量@20�?/td>	3kW	7kW	10.5kW	14kW	21kW	28kW	35kW
液体容积	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
制冷�?/td>	R1234fa （ODP=0 GWP=4�?/td>
载冷�?/td>	纯净�?/td>
控制�?/td>	PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算�?/td>
温度控制	导热介质出口温度控制模式 pt100
	外接温度传感器：（PT100�?�?0mA或通信给定）控制模式（串级控制�?/td>
通信协议	以太网接口TCP/IP协议
	RS485接口 modbus RTU协议
设备内部温度反馈	设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、压缩机排吸气温度、冷却水温度（水冷设备有�?/td>
系统压力	制冷系统压力采集高低压压力传感器
	循环系统压力采集进出口位置采用压力传感器
循环�?/td>	磁力无机械密封循环泵
蒸发�?/td>	板式换热�?/td>
冷凝�?/td>	微通道冷凝器（风冷�?/td>
	板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水
制冷节流	电子膨胀阀
操作面板	7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；压力保护，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能�?/td>
系统捡漏	制冷系统100%氦检出厂循环系统100%氦检出厂
进出接口尺寸	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水接�?/td>	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
外壳	冷轧板喷塑RAL7035

性能对比	常规润滑�?/td>	全氟聚醚�?/td>
氧气	缓慢氧化，产生酸或油泥剧烈氧化，着火或爆炸	不反应、不燃烧
高温	速氧化，积碳或结焦加速挥发、泄�?/td>	无积碳、不易挥发、不流失
水或潮湿环境	乳化，被水淋�?/td>	不溶于水
化学物质	被酸、碱、有机溶剂等腐蚀	化学品稳定�?/td>
接触部件	腐蚀密封材料润滑剂泄露，损坏设备	宽广的材料相容性，无腐蚀

型号	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-10℃～+60�?/td>	+30℃～+80�?/td>	-10℃～+80�?/td>
温度稳定�?/td>	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
冷却能力	4kW@-10�?21kW@+20�?/td>	6 kW@+30�?/td>	3kW@-10�?/td>
加热能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/压力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
环境温度	10�?5 �?/td>	10�?5 �?/td>	10�?5 �?/td>
环境湿度	30�?0%	30�?0%	30�?0%
冷却水温�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>
冷却水流�?/td>	30L/min@15~20�?/td>	15L/min@15~20�?/td>	15L/min@15~20�?/td>
断路�?/td>	100A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型号	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
温度范围	-20℃～+50�?/td>	+30℃～+100�?/td>	+30℃～+40�?/td>
温度稳定�?/td>	±0.1℃（可定制�?.01℃控温精度设备）
冷却能力	15kW@-10�?/td>	13kW@PCW+15�?/td>	8kW@PCW+10�?/td>
加热能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/压力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
环境温度	10�?5 �?/td>	10�?5 �?/td>	10�?5 �?/td>
环境湿度	30�?0%	30�?0%	30�?0%
冷却水温�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>	15�?0�?/td>
冷却水流�?/td>	30L/min@15~20�?/td>	15L/min@15~20�?/td>	15L/min@15~20�?/td>
断路�?/td>	75A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型号		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
温度范围		-20℃~90�?/td>
控温精度		±0.1�?/td>
制冷能力	20�?/td>	1200W	2450W	4500W
	10�?/td>	900W	1925W	3500W
	0�?/td>	600W	1400W	2600W
	-10�?/td>	350W	875W	1600W
	-20�?/td>	80W	350W	700W
制热能力		�?000W	�?000W	�?2000W
泵类�?/td>		直流磁力�?/td>
压力（bar�?/td>		�?
流量		15L/min at 2bar
流体		Galden HT135
冷却水温�?/td>		DI�?0�?/td>
冷却水流�?/td>		�?2L/min	�?0L/min	�?2L/min
CDA开启温�?/td>		�?0�?/td>
CDA压力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m³/h
CDA露点温度		�?0�?/td>
电源电压		AC208V，三相电�?/td>

型号	ETCU-005W	ETCU-015W	ETCU-030W	ETCU-050W	ETCU-100W	ETCU-200W	ETCU-300W
温度范围	冷却水温�?+5℃~90�?/td>
控温精度	±0.05℃（出口温度稳态）
冷却水温�?/td>	7℃~30�?采用西门�?霍尼韦尔调节阀控制冷却水流�?/td>
冷却能力	5kW	15kW	30kW	50kW	100kW	200kW	300kW
冷却能力	测试条件：最大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15�?/td>
流量/压力 MAX	7~20L/min 5bar	15~40L/min 5bar	20~60L/min 5bar	40~110L/min 5bar	150~250L/min 5bar	250~500L/min 5bar	400~650L/min 5bar
储罐容积	5L	10L	20L	30L	60L	120L	240L
外形尺寸 cm	487539	487539	487550	定制	定制	定制	定制

	基础油�?/td>	CLKDOC138
适用温度范围	�?/td>	/
适用温度范围	�?/td>	�?94~150
粘度,cSt ASTM D445	20℃（68℉）	7
	40℃（104℉）	4
	100℃（212℉）	/
	粘度指数, ASTM D2270	/
倾点ASTM D97	�?/td>	�?70
倾点ASTM D97	�?/td>	�?94
密度g/mL	0℃（32℉）	1.87
密度g/mL	100℃（212℉）	1.67
蒸发损失 ASTM D972 22小时质量损失 (wt%)	66℃（150℉）	11
	121℃（250℉）	87
	204℃（400℉）	/

	�?�?�?�?/td>	单位	CLKDOC78
材料描述	成分		C₄F₉OC₂H₅
	Cas�?/td>		163702-06-5
	分子�?/td>	g/mol	264
	纯度	%	99.5
	非挥发物质含�?/td>	ppm	<2.0
	外观		无色透明
理化性质	沸点	�?/td>	76
	倾点	�?/td>	-138
	临界温度临界压力	�?/td>	210
	临界压力	Mpa	2.01
	蒸汽�?/td>	kPa	14.5
	蒸发潜热	J/g	126
	液体密度	g/cm³	1.43
	比热�?/td>	J/Kg-K	1220
	热导�?/td>	W/m-K	0.069
	溶水�?/td>	ppmw	92
	介电强度0.1″gap	kV	>25
	介电常数@1kHz	/	7.35
	体积电阻�?/td>	Ohm-cm	10⁸
环保与安�?/td>	臭氧层破坏潜值ODP		0
	温室效应潜值GWP		59
	大气寿命	Year	0.77
	闪点	�?/td>	�?/td>