CHILLER制冷循环器FLTZ单通道系列的应用与参数解析

2026年4月15日行业新闻 FLTZ单通道系列190

冠亚研发的CHILLER制冷循环器FLTZ单通道系列，包含不同温度区间的型号，可适配不同工业场景的温控需求。其中，FLTZ-001、FLTZ-002、FLTZ-003、FLTZ-004、FLTZ-006W属于+5℃～+40℃温度范围的型号，该系列设备依托单通道变频集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质供给功能，为工业场景提供稳定的冷却介质，适用于光刻机、涂胶显影、涂胶显影设备等领域的jing密控温需求，以下结合核心参数与应用场景展开说明。

从核心参数来看，该批次型号的温度范围统一为+5℃～+40℃（可扩展到90℃），控制模式支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），出口控温精度稳定在±0.1℃，部分型号可定制±0.01℃控温精度设备，可满足jing密制程对温度波动的严格要求。工艺控温维度，各型号制冷量覆盖2.54kW至384W区间，加热量从0.54kW至7.54kW不等，可根据不同工况的冷热负荷需求匹配对应型号，避免制冷量与加热功率适配不足的问题。

介质类型方面，该系列适配氟化液、乙二醇水溶液或去离子水等介质，其中去离子水可满足微电子领域对介质低电导率的要求，制冷剂采用R404A、R410A等，适配不同温度区间的制冷需求。介质流量压力覆盖15LPM@3bar至30LPM@3bar，介质接口涵盖Rc1/2、Rc3/4等规格，冷却水接口包括Rc1/2、Rc1/1等，冷却水流量从0.6m³/h到5.5m³/h不等，可匹配不同现场的水路与管路布局需求。

安全防护层面，该系列设备具备自我诊断功能、相序断相保护器、电源过电流、欠欠压保护、加热系统保护、进出液压力监控及低位保护等多重防护，可规避运行过程中的安全隐患。通讯类型支持MODBUSRTU/TCP/IP协议或ETHERCAT、LONWORKS等，可接入自动化控制系统，实现远程监控与参数调整。安装环境要求无腐蚀性或易燃性气体（无腐蚀性或易燃性气体30-70%/无冷凝），电源适配220VAC±10%、单相或380VAC±10%、三相（可定制），总电功率从2.54kW到25kW不等，适配不同功率负荷的工业场景。

应用场景上，FLTZ-001至FLTZ-006W型号凭借+5℃～+40℃的常规温度范围，适配jing密机械加工、电子元件测试、实验室恒温设备冷却等场景。在电子元件制造环节，该设备可为光刻机、涂胶显影设备提供稳定冷却介质，维持设备运行温度稳定，避免温度过高影响元件加工精度；在实验室设备冷却场景，可对jing密实验仪器进行恒温控温，保障实验数据的准确性；在jing密机械加工领域，可适配机床、刀具冷却等温控需求，维持加工过程的温度一致性，助力工业生产的稳定运行。